人工智能現在的發(fā)展是很快的，應用領域也是很豐富的，生活、醫(yī)療等都可以看到人工智能科技的影子，比如神經檢測這一塊兒，可以運用meas壓力傳感器來進行探測的，理想情況下，神經探針陣列應具有良好的生物相容性、具有高信噪比的高密度電極、通過柔性電纜實現的互連功能、高度集成的電子架構，以及集成型微執(zhí)行器，從而驅動電極柄實現神經元運動跟蹤。

人類的大腦通過其神經元活動來協(xié)調我們的感知、想法和行動。神經科學家正努力通過采用能夠在行為期間以單神經元和單峰分辨率分離、識別和操縱神經元的方法來理解大腦的功能。神經探針不僅在細胞外記錄、腦機接口（BMI）和深部腦刺激（DBS）方面取得了成功，而且在腦電圖、神經元功能恢復和腦部疾病研究等一些新的應用中也成績斐然。

為了能夠在大腦的多個區(qū)域內大規(guī)模記錄單個神經元，神經探針需要高密度、大數量的電極。遺憾的是，最新的高密度CMOS神經探針有一個很大的“柄”，它是探針的一部分，會植入到大腦區(qū)域。這個“柄”部分需要做到盡可能薄，以避免干擾或損害正常的大腦功能，眼下，它們還達不到神經科學家希望的那么小。另外，目前的電子設計架構也不是最佳。探針設計由大量小型有源電極組成，用于放大和緩沖神經信號。CMOS像素放大器（PA）位于電極下方極小的空間內，由于空間不足，信號處理被迫在探針的底座完成。想象一下這種非理想信號路由中的噪聲問題，理想情況下希望信號處理緊挨著PA進行。

微型光機械meas壓力傳感器，我們從meas壓力傳感器設計開始。MEMS壓力傳感器有電容式和壓電式，它們體積小，性能相當好。再就是光纖傳感器，它們具有超敏感性和低噪聲特性，但在集成度較低的設計架構中使用最佳。

現在，我們將上述兩種傳感器特性合并為一個集成傳感器，即微型光機械meas壓力傳感器。與壓電和電容傳感器設計相比，這種器件可帶來更高的靈敏度和更好的噪聲特性，但封裝尺寸卻相同。