2019年7月1日，日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)部宣布，將對用于制造智能手機與電視機中OLED屏所用的“氟化聚酰亞胺”、半導體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”等半導體材料，加強面向韓國的出口管制。7月4日起正式施行。

距離出口管制實施，已經(jīng)過去約3周時間，期間最引人關注的并非日本幾乎壟斷的光刻膠和氟化PI材料，反而是高純度氟化氫。

《韓民族日報》7月12日報道，韓國政府官員11日表示，俄羅斯最近通過外交途徑向韓國政府方面表示，有意向韓國企業(yè)供應本國生產(chǎn)的氟化氫。

7月16日，據(jù)韓媒報道，為了應對日本對韓國半導體材料出口限制，SK海力士已經(jīng)開始測試從中國進口氟化氫原料，而三星近日則大規(guī)模從西安采購高純度氟化氫。

——為何偏偏是“氟化氫”？

氟化氫（hydrogen fluoride），標況下為帶有強烈刺激性氣味的無色透明液體，在常溫常壓下極易揮發(fā)成白色煙霧，能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應，腐蝕性極強，能腐蝕玻璃和硅酸鹽而生產(chǎn)四氟化硅，易溶于水和醇，難溶于有機溶劑。

氟化氫用途非常廣泛，高純度的氟化氫在半導體材料的生產(chǎn)中扮演著不可或缺的重要角色，可用于電子工業(yè)大規(guī)模集成電路的刻蝕及清洗。

半導體制造所用的高純度氟化氫對于所有單項金屬雜質的質量分數(shù)要求極為嚴苛。高純度氫氟酸在生產(chǎn)過程中還沒達到實際所需要的酸濃度時，需要儲存在特制設備內調節(jié)酸的濃度制備產(chǎn)品。由于對雜質含量的要求極為苛刻，如何在儲存環(huán)節(jié)中避免二次污染，是重要的難題。目前國際上使用高純聚四氟乙烯等作為設備內襯、管路及閥件材料，已經(jīng)可以更有效地保存高純度氫氟酸，但是保存的時間亦不能太久。所以，晶圓廠對于電子級氟化氫或氫氟酸的原材料，往往是小批量、一批一批購買，買來即用。

因此，7月4日之后，三星和SK海力士晶圓廠所用的高純氟化氫的庫存就顯得頗為緊張，快速尋找替代供應商已是迫在眉睫。

——三星和海力士尋求替代供應商，中國企業(yè)從中扮演重要角色

7月16日，快科技報道，SK海力士已經(jīng)開始測試韓國SoulBrain公司供應的高純度氟化氫材料，而據(jù)悉三星也已經(jīng)在旗下的半導體制造工廠中應用了SoulBrain公司的氟化氫材料。

秀博瑞殷（西安）電子材料公司是SoulBrain在中國的子公司。而據(jù)多氟多官方透露，目前多氟多具有1萬噸電子級氫氟酸生產(chǎn)線，是UPSS級氫氟酸的替代進口產(chǎn)品，而秀博瑞殷是多氟多客戶之一！

7月17日，澎湃新聞透露，韓國三星和SK海力士要求一家本土供應商增加芯片制造所需的關鍵化學品供應，已防止生產(chǎn)受到阻礙。Foosung的高管表示，“他們（指三星和海力士）幾乎每天都在檢查，以獲得更多的供應。

據(jù)三美股份招股說明書透露，F(xiàn)oosung集團在2017、2018年均為公司氟化氫產(chǎn)品的第一大客戶。并且，三美股份與三星此前的高純度氟化氫供應商森田化學工業(yè)合資成立“森美化工”，銷售無水氟化氫、氟化合物產(chǎn)品及副產(chǎn)品。

除此之外，聯(lián)創(chuàng)股份日前透露，其控股子公司山東華安新材料有限公司經(jīng)營范圍有氫氟酸產(chǎn)品，一直是韓國Foosung集團的優(yōu)質供應商。

電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟7月16日消息，濱化集團電子級氫氟酸已成功拿到部分韓國半導體廠商的批量訂單。

據(jù)報道，韓國在投資國內技術研發(fā)的同時也在尋找多元化市場。此次濱化集團經(jīng)過多批次的樣品檢測和小批量試驗后，最終與韓國企業(yè)建立正式合作伙伴關系。據(jù)悉，目前陸續(xù)有韓國企業(yè)向濱化集團下了批量訂單。

——日韓“氟化氫”禁運，短期可能波及包括華為在內的中國企業(yè)

據(jù)日本媒體分析，日本對韓國出口管制或波及中國。日本的貿易統(tǒng)計顯示，日本2018年向韓國出口了約36,800噸氟化氫。而韓國氟化氫的最大進口國是中國，但如果僅限于用于半導體晶圓清洗的超高純度產(chǎn)品，則日本的StellaChemifa和森田化學工業(yè)掌握約9成份額。從中國進口的被認為是低純度產(chǎn)品，用途不同。

據(jù)韓國貿易協(xié)會的數(shù)據(jù)，韓國2018年向中國出口了4050噸氟化氫。韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部的相關人士表示：從日本進口的氟化氫在韓國加工后，由三星電子和SK海力士在韓國的半導體工廠使用，其中一部分被出口到兩家企業(yè)的中國工廠，并強調進行了嚴格管理：在將氟化氫出口到中國之時，政府要求供應商簽署保證書，寫明最終用戶并嚴格遵守。形成了如出售給第三方或虛假申報被發(fā)覺被追究法律責任的體制。

據(jù)報道稱，雖然需要辦理手續(xù)，但韓國能以寬松的條件將從日本進口的材料順利出口到中國，是因為日本政府將韓國列入作為出口目的地值得信賴的“白名單國家”。如果從白名單中剔除，審查和手續(xù)有可能變得更加嚴格，需要經(jīng)過復雜的手續(xù)。

報道引述中國的海關統(tǒng)計顯示，來自韓國的高純度氟化氫的進口量2018年約為4000噸。其中大部分為日本制造，經(jīng)由韓國出口到中國。而從出口目的地來看，約7成是陜西省，約3成是江蘇省。陜西省西安市有三星電子的NAND型閃存工廠，而江蘇省無錫市有SK海力士的DRAM工廠。

三星和SK海力士在半導體存儲器全球份額上合計掌握5～7成。韓國的分析師認為，三星在中國生產(chǎn)NAND型閃存的25％，而SK海力士在中國生產(chǎn)DRAM的40％。如果日本的出口管制強化導致氟化氫的對韓出口停滯，韓國對中國的出口也將隨之停滯，兩家企業(yè)的半導體生產(chǎn)有可能受到影響。報道引述了解半導體行業(yè)的一名中國證券公司的分析師表示，預計尤其將對華為技術等企業(yè)產(chǎn)生較大影響，還可能對個人電腦和服務器等廠商產(chǎn)生影響。

韓國廠商減少半導體生產(chǎn)的情況下，中國難以通過國產(chǎn)來彌補。中國在高科技產(chǎn)業(yè)培育政策“中國制造2025”中將半導體指定為重點領域，力爭到2020年將自給率提高至40%。目前中國的半導體自給率被認為在10%多一點。雖然中國大力推進半導體的國產(chǎn)化，美國、日本和荷蘭的企業(yè)依然壟斷著大部分先進裝置的市場。在中國的半導體行業(yè)，不少觀點認為“越是高性能半導體，越難實現(xiàn)國產(chǎn)化，需要幾年時間”，目前仍不得不依賴進口。

日本經(jīng)濟新聞報道說，三星等韓國企業(yè)已開始尋找替代材料，不過情況不容樂觀。半導體基板的清洗和電路開槽使用的氟化氫方面，昭和電工只有川崎事業(yè)所（川崎市）一處生產(chǎn)基地。日本Stella Chemifa雖然在新加坡也生產(chǎn)氟化氫，但日本有分析師表示：韓國廠商在中國的半導體生產(chǎn)只選擇日本產(chǎn)蝕刻氣體，證明在純度等品質層面日本產(chǎn)蝕刻氣體難以被替代。今后也很可能會形成日本企業(yè)直接向中國出口的全新供應鏈形式。

——中國氟化氫產(chǎn)能很大，但是亟待往高端化發(fā)展

中國氟化氫生產(chǎn)主要集中在浙江、福建、江蘇、山東、江西、內蒙等地。20世紀90年代以來，由于含氟制冷劑、發(fā)泡劑、清洗劑市場的拓展，中國氟化氫生產(chǎn)得到高速發(fā)展。據(jù)統(tǒng)計，2010年中國的氟化氫年產(chǎn)能達到144.4萬噸，2014年達到165.2萬噸，年均增長約為3.31%。到了2018年，中國氟化氫生產(chǎn)線有103條（不包括甘肅白銀自用），年產(chǎn)能達到192.1萬噸，實際產(chǎn)量158.8萬噸。

然而，中國目前生產(chǎn)的氟化氫多為中低端產(chǎn)品，在超高純氟化氫技術方面還處于中低階段，產(chǎn)品品質與日本企業(yè)存在較大差距，超高純氟化氫仍然依賴進口。

目前，國內外對于高純氫氟酸還未有通用標準，國外高純氫氟酸生產(chǎn)企業(yè)及應用企業(yè)主要以半導體行業(yè)的需求為分級基準，參考的是SEMI國際通用標準等級。

中國目前有能力生產(chǎn)高純氫氟酸的企業(yè)約有10家，主要是多氟多、凱圣氟化學、濱化集團、江陰潤瑪?shù)?。中國企業(yè)通常參照行業(yè)標準“工業(yè)高純氫氟酸HG/T 4059-2013標準”，此標準根據(jù)產(chǎn)品中雜質離子含量的不同將高純氫氟酸分為EL級、UP級、UPS級、UPSS級、UPSSS級。

兩項標準的不同之處在于中國國內的標準相對于國外標準而言較為寬松，個別指標不做要求。從標準的執(zhí)行情況和修訂的范圍來看，中國的高純氫氟酸在產(chǎn)品質量和應用領域上都與國外企業(yè)存在較大差距，也間接說明了中國半導體行業(yè)與國外的技術水平差距。

中國氟化氫亟待向高端化發(fā)展，此次日本對韓限制出口半導體材料，對于中國企業(yè)而言，既是機遇，亦是挑戰(zhàn)！