伊頓注入機(jī)具有改進(jìn)的高傾斜吞吐量功能
馬薩諸塞州貝弗利 - 伊頓半導(dǎo)體設(shè)備運(yùn)營部今天宣布推出一款中等電流離子注入機(jī)，可提供更高的吞吐量據(jù)該公司介紹，該產(chǎn)品采用伊頓公司的8250平臺，8250HT設(shè)計(jì)用于0.18微米及以下工藝，具有處理能力，使其成為非常適合用于通道和排水工程植入的中電流注入器。該公司表示，第一個(gè)系統(tǒng)計(jì)劃于3月發(fā)貨。

“該工具具有無與倫比的靈活性和生產(chǎn)率，使其成為極具成本效益的選擇，”伊頓半導(dǎo)體植入系統(tǒng)營銷總監(jiān)David Duff說。師。 “8250HT提供無與倫比的光束純度，并允許IC制造商靈活地在同一系統(tǒng)上運(yùn)行多種物種 - 因此不需要專用系統(tǒng)。這一點(diǎn)至關(guān)重要，因?yàn)殂煈?yīng)用的使用變得越來越重要?！?/p>

全自動(dòng)串行處理系統(tǒng)旨在最大限度地提高生產(chǎn)率并最大限度地減少各種形式的污染。 8250HT采用了伊頓半導(dǎo)體的專利延長壽命源（ELS），可提供高源壽命和電子束電流。伊頓表示，8250HT能夠提供4到3,500微安的足夠電子束電流，以滿足所有高傾斜，中等電流應(yīng)用的機(jī)械極限。

該系統(tǒng)還通過處理能量范圍為3至750千電子伏特的各種物種，最大限度地提高了工具的利用率。因此，伊頓公司稱，不需要專門的銦工藝注入機(jī)。 8250HT實(shí)現(xiàn)了每小時(shí)210片晶圓的機(jī)械限制吞吐量，與批量無關(guān)，并且允許制造商達(dá)到0.5％的均勻度規(guī)格。

使用獨(dú)特的角度能量過濾器實(shí)現(xiàn)高光束能量和化學(xué)純度（AEF），它將光束偏轉(zhuǎn)15度，并在污染物到達(dá)晶圓之前消除污染。根據(jù)Duff的說法，AEF使8250HT能夠?qū)崿F(xiàn)在減速或加速模式下工作時(shí)通常低于計(jì)量檢測水平的光束能量和化學(xué)污染水平。

“通過充分利用整個(gè)種植體能量范圍，這種能力為制造工藝增加了大量的靈活性，而不用擔(dān)心能源污染，”他說。