韓化工企業(yè)可以實(shí)現(xiàn)高純度大量生產(chǎn)氟化氫
韓國(guó)產(chǎn)業(yè)通商資源部日前表示，韓國(guó)化工企業(yè)已確立能以高純度大量生產(chǎn)氟化氫的制造技術(shù)。氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。外媒稱，韓國(guó)化工企業(yè)“Soul Brain”新設(shè)和擴(kuò)建了制造工廠，可將液體氟化氫的雜質(zhì)減少至“1萬億分之一”。這一純度可用于要求極高純度的半導(dǎo)體制造。
韓國(guó)經(jīng)濟(jì)媒體認(rèn)為，生產(chǎn)規(guī)模將能滿足韓國(guó)國(guó)內(nèi)70至80％左右的需求。
去年9月，外媒曾報(bào)道，三星電子開始在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上試用韓國(guó)企業(yè)加工的氟化氫。
外媒當(dāng)時(shí)表示，在高純度的氟化氫市場(chǎng)，日本廠商大約占據(jù)8至9成份額。三星電子對(duì)于是否全面采用日本造以外的氟化氫仍持謹(jǐn)慎態(tài)度。
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