早在1930年，出現(xiàn)了第一臺(tái)壓力傳感器，一直到現(xiàn)在傳感器技術(shù)持續(xù)不斷的發(fā)展，新研制或生產(chǎn)的壓力傳感器必須對(duì)它的技術(shù)性能進(jìn)行全面檢測(cè)，以此來(lái)保證它的測(cè)量值的準(zhǔn)確。

目前，校準(zhǔn)的基本方法是采用壓力控制器，壓力控制器提供一個(gè)穩(wěn)定的已知的壓力輸入給待校準(zhǔn)的壓力傳感器，同時(shí)得到壓力傳感器的輸出量后，再處理和比較壓力傳感器輸入量與輸出量，從而獲得一系列表征兩者對(duì)應(yīng)關(guān)系的曲線，從而得到壓力傳感器件性能指標(biāo)的實(shí)測(cè)結(jié)果。

在生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)壓力傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，其實(shí)質(zhì)是用壓力控制器或者校準(zhǔn)器內(nèi)的高精度的壓力傳感器對(duì)低精度的壓力傳感器進(jìn)行比對(duì)，定值。

壓力傳感器的發(fā)展

壓力傳感器實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化始于20世紀(jì)60年代后期德州儀器公司156型克粳米測(cè)試儀的開(kāi)發(fā)。

德州儀器公司精密壓力測(cè)試儀的成功促使Worden Quartz 公司(后被 Ruska Instrument 收購(gòu))開(kāi)發(fā)類(lèi)似技術(shù)。由此產(chǎn)生的競(jìng)爭(zhēng)和客戶(hù)需求促使自動(dòng)化壓力控制器實(shí)現(xiàn)大量改進(jìn)。

20 世紀(jì) 70 年代早期至中期，出現(xiàn)了新的和經(jīng)過(guò)改進(jìn)的特性，包括計(jì)算機(jī)接口，允許完全自動(dòng)化；強(qiáng)制平衡，幾乎消除了石英波登管型壓力傳感器的滯后現(xiàn)象和非線性。

SERIES 6005 INTERFACEPANEL

應(yīng)變計(jì)等其他壓力測(cè)量技術(shù)的應(yīng)用降低了成本，并實(shí)現(xiàn)了更快的壓力控制。但是，這些傳感器的整體性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于石英傳感器。隨著低成本傳感器性能的提高，這些技術(shù)在壓力控制器制造商中的應(yīng)用日益普及。

20世紀(jì)80年代， 計(jì)算機(jī)的微型化促進(jìn)了壓力傳感器性能顯著提高。這使壓力控制器制造公司能夠在其產(chǎn)品中使用性能更高、成本更低的新型壓力傳感器；同時(shí)隨著微型計(jì)算機(jī)、以及經(jīng)過(guò)改進(jìn)的材料和經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，開(kāi)發(fā)出許多不同的壓力控制方法，如泄漏控制、正壓和脈寬調(diào)制。這些控制方法中的每一種都為用戶(hù)提供了更多選擇 ，從而降低成本并提高速度，提高了測(cè)量準(zhǔn)確度水平。

20 世紀(jì) 90 年代，推出了多通道壓力控制器，允許利用單臺(tái)壓力控制器實(shí)現(xiàn) 2 個(gè)或多個(gè)獨(dú)立控制的壓力。這推動(dòng)了模塊化進(jìn)一步發(fā)展，用戶(hù)可以更換內(nèi)部壓力傳感器，以實(shí)現(xiàn)更廣泛的壓力控制和測(cè)量范圍。

Rosemount、 Honeywell、Yokogawa這些制造商意識(shí)到其傳感器性能的主要限制來(lái)自于其在表征過(guò)程中使用的自動(dòng)壓力控制器的性能。

壓力控制穩(wěn)定性

這使得關(guān)注重點(diǎn)從之前單一的測(cè)量性能變?yōu)橥瑫r(shí)考慮壓力控制能力。

人們認(rèn)識(shí)到，更好的壓力控制，特別是低壓，與參考?jí)毫鞲衅魈峁┑臏y(cè)量準(zhǔn)確度同樣重要。

現(xiàn)在，壓力控制器提供許多基于軟件的功能、更快和更多的計(jì)算機(jī)接口、不同的壓力準(zhǔn)確度和傳感器模塊。

還提供各種壓力控制類(lèi)型，有些提供高速度和較低的控制精度，有些提供較高的控制精度，但實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)的時(shí)間較長(zhǎng)。

這對(duì)于傳感器制造商(制造各種壓力傳感器，從低壓到高壓，從低準(zhǔn)確度到高準(zhǔn)確度)來(lái)說(shuō)，意味著必須投資許多不同的壓力控制標(biāo)準(zhǔn)。

在制造低壓傳感器過(guò)程中所用到的壓力控制器型號(hào)可能與制造高壓傳感器所用到的壓力控制器型號(hào)不同；制造低準(zhǔn)確度傳感器所使用的壓力控制器型號(hào)可能與制造高準(zhǔn)確度傳感器所用到的壓力控制器型號(hào)不一樣。

選擇一臺(tái)合適的控制器時(shí)，需要考慮哪些呢

即使自動(dòng)壓力控制器已經(jīng)發(fā)展到滿(mǎn)足傳感器生產(chǎn)管理人員的更多需求，但還沒(méi)有滿(mǎn)足他們對(duì)單個(gè)壓力控制器的最大需求，以滿(mǎn)足傳感器制造商的所有當(dāng)前需求和未來(lái)需求。

新型壓力傳感器

Fluke Calibration 模塊化氣體壓力控制器校準(zhǔn)

— 6270A / 8270A / 8370A

多種工作負(fù)載 - 快速、準(zhǔn)確和可靠

非常適合壓力傳感器制造商使用，模塊化設(shè)計(jì)使其非常容易維護(hù)，在寬量程內(nèi)的高速控制以及高準(zhǔn)確度使其能夠滿(mǎn)足各種產(chǎn)能需求。

維護(hù)維修不停產(chǎn)：

完全模塊化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)替換式快速維護(hù)維修

降低入門(mén)成本：

100:1控制可調(diào)比，一臺(tái)控制器相當(dāng)于多臺(tái)控制器

一臺(tái)控制器滿(mǎn)足所有需求：

PM200/PM500/PM600 三種規(guī)格，多量程靈活配置

生產(chǎn)無(wú)污染：

100MPa內(nèi)氣壓全量程覆蓋，提供最容易使用的氣體高壓標(biāo)準(zhǔn)