氣動(dòng)執(zhí)行器是用氣壓力驅(qū)動(dòng)啟閉或調(diào)節(jié)閥門的執(zhí)行裝置，又被稱氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)或氣動(dòng)裝置，不過一般通俗的稱之為氣動(dòng)頭。在現(xiàn)代自動(dòng)化、智能化工廠中，特別是在氣體傳輸技術(shù)領(lǐng)域中，氣動(dòng)執(zhí)行器得到了廣泛的應(yīng)用，為實(shí)際應(yīng)用生產(chǎn)發(fā)揮著極為重要的作用。

氣動(dòng)執(zhí)行器通常用于控制需要快速和準(zhǔn)確響應(yīng)的過程，因?yàn)樗鼈儾恍枰罅康膭?dòng)力。然而，當(dāng)需要大量的力來操作閥門（例如，主蒸汽系統(tǒng)閥門］）時(shí)，通常使用氣壓致動(dòng)器。雖然氣動(dòng)執(zhí)行器有許多設(shè)計(jì)，但活塞類型最常見。而在現(xiàn)有的氣動(dòng)執(zhí)行器在實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)氣動(dòng)執(zhí)行器因自身故障而造成氣流堵塞時(shí)，由于氣動(dòng)執(zhí)行器本身沒有檢測報(bào)警裝置，因而無法及時(shí)提醒工作人員發(fā)現(xiàn)故障，容易造成生產(chǎn)的安全隱患。

為解決上述問題需要一種能夠在實(shí)際應(yīng)用中實(shí)時(shí)檢測氣流輸送狀態(tài)的氣體流量檢測裝置，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障進(jìn)行處理，從而及時(shí)消除安全隱患。氣體流量傳感器 － FS5001L來檢測氣流輸送狀態(tài)的氣體流量。

FS5001L系列氣體流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用標(biāo)貼式安裝，使安裝尺寸更加緊湊，可以很容易的實(shí)現(xiàn)在小空間內(nèi)的多傳感器集成。

FS5001L氣體流量傳感器產(chǎn)品特點(diǎn)

傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量

表貼式安裝，結(jié)構(gòu)緊湊

多種信號(hào)輸出

零點(diǎn)穩(wěn)定度高

全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性

低功耗、低壓損

FS5001L氣體流量傳感器機(jī)械尺寸

FS5001L氣體流量傳感器技術(shù)參數(shù)

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