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      三星部署擴展EUV光刻工藝，爭取提高性能

      如意 ? 來源：快科技 ? 作者：萬南 ? 2020-12-05 09:14 ? 次閱讀
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      繼SK海力士日前宣布在M14和建設中的M16工廠均引入EUV光刻機后，三星也坐不住了。

      按照三星的說法，自2014年以來，EUV光刻參與的晶圓超過了400萬片，公司積累了豐富的經(jīng)驗，也比其它廠商掌握更多訣竅，領先對手1到2年。

      據(jù)悉，三星的1z nm DRAM第三代內存已經(jīng)用上了一層EUV，第四代1a nm將增加到4層。EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產(chǎn)時間、降低成本，并提高性能。

      盡管SK海力士、美光等也在嘗試EUV，但層數(shù)過少對效率提升并不明顯，也就是單位成本高，畢竟EUV光刻機買一臺要10億元。三星這方面倒是有優(yōu)勢，因為自己還有晶圓廠，“東方不亮西方亮”光刻機的利用率很高。


      責編AJX

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