盛美半導(dǎo)體設(shè)備的 TEBO 兆聲波清洗技術(shù)專利在美國(guó)獲得授權(quán)

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（NASDAQ：ACMR），作為半導(dǎo)體制造與先進(jìn)晶圓級(jí)封裝領(lǐng)域中領(lǐng)先的設(shè)備供應(yīng)商，近日宣布美國(guó)專利及商標(biāo)局批準(zhǔn)了美國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枮?15/575,793 的專利申請(qǐng)，該專利為盛美獨(dú)有的 TEBO(時(shí)序能激氣穴震蕩)兆聲波清洗技術(shù)。

盛美的 TEBO 清洗技術(shù)適用于 28nm 或以下的圖形硅片清洗，通過(guò)一系列頻率高達(dá)每秒 100 萬(wàn)次的壓力變化，使得氣泡在受控的溫度下，以穩(wěn)定的尺寸和形狀進(jìn)行振蕩。這些氣泡被控制在穩(wěn)定的振蕩狀態(tài)下，不會(huì)發(fā)生內(nèi)爆，因此不會(huì)破壞晶圓表面的微結(jié)構(gòu)， 晶圓表面的圖形結(jié)構(gòu)也可以被清洗干凈，同時(shí)避免遭到破壞。在產(chǎn)品結(jié)構(gòu)從 2D 向 3D 的技術(shù)轉(zhuǎn)型過(guò)程中，基于 TEBO 的清洗設(shè)備可以應(yīng)用于 FinFET、DRAM、新興的 3D。

NAND 等更復(fù)雜的 3D 結(jié)構(gòu)產(chǎn)品，來(lái)提高客戶產(chǎn)品的良率。2020 年 9 月盛美已向一家領(lǐng)先的中國(guó)集成電路廠商交付了第二代 TEBO 設(shè)備，用于在生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行評(píng)估。

盛美已在中國(guó)、美國(guó)、日本、韓國(guó)、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣等地獲得超過(guò) 285 項(xiàng)專利。

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