中芯國(guó)際迎來了久違的好消息：可從阿斯麥（ASML）訂購(gòu)12億美元的光刻機(jī)。

訂購(gòu)12億美元光刻機(jī)

3月3日晚間，中芯國(guó)際披露，公司于2月1日與阿斯麥（ASML）上海簽訂了經(jīng)修訂和重述的阿斯麥批量采購(gòu)協(xié)議，將采購(gòu)協(xié)議的期限延長(zhǎng)一年至2021年12月31日。根據(jù)批量采購(gòu)協(xié)議，公司已就購(gòu)買用于生產(chǎn)晶圓的阿斯麥產(chǎn)品（即光刻機(jī)）與阿斯麥集團(tuán)簽訂購(gòu)買單，訂單金額12億美元。

阿斯麥（ASML）即荷蘭阿斯麥，是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備制造商之一，主要業(yè)務(wù)為光刻機(jī)的研發(fā)和生產(chǎn)，在全球處于絕對(duì)領(lǐng)先地位。具體來看，ASML在45nm以下制程的高端光刻機(jī)市場(chǎng)中占有85%的份額；在EUV（極紫外）光刻機(jī)領(lǐng)域則處于絕對(duì)壟斷地位，市場(chǎng)占有率100%。

目前，ASML的EUV光刻機(jī)主力出貨型號(hào)是3400B，價(jià)格約1.2億美元，其最新款的3600D定于2021年中旬出貨交付。

是否包含EUV光刻機(jī)？

眾所周知，EUV光刻機(jī)是生產(chǎn)5nm芯片必不可缺的設(shè)備。那么，中芯國(guó)際此次12億美元的采購(gòu)協(xié)議都有哪些類型的光刻機(jī)，包含EUV光刻機(jī)嗎？

記者從業(yè)內(nèi)資深人士處了解到，除了EUV光刻機(jī)，中芯國(guó)際幾乎可以買到其他所有型號(hào)的光刻機(jī)，包括DUV（深紫外）光刻機(jī)。

此前，ASML的CFO在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中表示：如果寬泛地理解相關(guān)規(guī)則對(duì)AMSL的整體意義，ASML將能夠從荷蘭向中國(guó)客戶（包括中芯國(guó)際）提供DUV光刻系統(tǒng)，且無需出口許可證。不過，如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類客戶的零件或系統(tǒng)，ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

在DUV光刻機(jī)方面，ASML的最新一代產(chǎn)品型號(hào)是NXT 2050i。公開資料顯示，ASML于2020年第三季度對(duì)第一臺(tái)TWINSCAN NXT 2050i進(jìn)行了質(zhì)量認(rèn)證，并于第四季度初發(fā)貨。由于對(duì)掩模版工作臺(tái)、晶圓工作臺(tái)、投影物鏡和曝光激光器的技術(shù)改進(jìn)，NXT2050i提供了比其前身更好的套刻精度控制，具有更高的生產(chǎn)率。

公開報(bào)道顯示，ASML的上一代DUV產(chǎn)品NXT2000i光刻機(jī)，光刻精度可以達(dá)到1.9nm，遠(yuǎn)低于5nm要求的2.4nm以及7nm的3.5nm精度。

第一季度營(yíng)收預(yù)計(jì)超10億美元

在近期接受機(jī)構(gòu)調(diào)研時(shí)，中芯國(guó)際聯(lián)合首席執(zhí)行官趙海軍表示，目前公司依然是滿載運(yùn)營(yíng)，預(yù)計(jì)今年第一季度營(yíng)收會(huì)回美元到10億以上。

此前，中芯國(guó)際預(yù)計(jì)，2021年全年?duì)I收成長(zhǎng)在中到高個(gè)位數(shù)。

產(chǎn)能緊缺已經(jīng)成為半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)共識(shí)。趙海軍表示，公司會(huì)繼續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，預(yù)計(jì)12英寸月產(chǎn)能增加1萬(wàn)片， 8英寸月產(chǎn)能增加不少于4.5萬(wàn)片，但由于設(shè)備采購(gòu)周期長(zhǎng)，預(yù)計(jì)擴(kuò)產(chǎn)產(chǎn)能對(duì)今年?duì)I收貢獻(xiàn)不大。

此外，在先進(jìn)制程方面，趙海軍強(qiáng)調(diào)，公司將保障生產(chǎn)連續(xù)性，繼續(xù)與供應(yīng)商推進(jìn)出口許可證的申請(qǐng)；也會(huì)考慮加強(qiáng)第一代、第二代FinFET多元平臺(tái)開發(fā)的布建，并拓展平臺(tái)的可靠性及競(jìng)爭(zhēng)力。
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