近日，中國計量測試學會印發(fā)《關于表彰2020年度中國計量測試學會科學技術進步獎獎勵項目的決定》，由清華大學牽頭，中科院微電子所參與完成的“光頻梳絕對距離測量關鍵技術及應用”項目獲得2020年中國計量測試學會科學技術進步一等獎。

“光頻梳絕對距離測量關鍵技術及應用”項目微電子所作為第二獲獎單位，主要完成人為周維虎、紀榮祎、石俊凱、董登峰。項目成果主要依托于國家重大科學儀器設備開發(fā)專項“新型飛秒激光跟蹤儀研發(fā)”、國家自然科學基金面上項目“基于雙波長外差干涉的飛秒激光測距對準和精密測距方法研究” 等任務。團隊歷時八年，對光頻梳絕對距離測量系統(tǒng)系列關鍵技術進行了持續(xù)攻關，先后攻克了光頻梳脈沖對準溯源、光頻梳載波包絡偏移頻率鎖定、光梳光譜相位辨析方法、雙光梳六自由度絕對位姿動態(tài)測量方法等關鍵技術，自主開發(fā)了光頻梳光源、測距光路、頻率鎖定模塊、信號采集處理系統(tǒng)全鏈條模塊，研制成功光頻梳絕對距離測量儀器，實現(xiàn)了高精度光梳絕對距離測量儀器的重大突破，關鍵指標達到國際領先水平。項目共授權發(fā)明專利17項，發(fā)表論文64篇，其中SCI收錄39篇。

本成果的研制與應用，有力提高了我國高端儀器的技術創(chuàng)新水平和國產(chǎn)化能力，促進了我國高端裝備制造業(yè)的發(fā)展?；谠摷夹g開發(fā)的激光跟蹤儀在高端制造、科學研究、國防軍工等領域具有廣泛應用。

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