2022年6月10日，沈陽芯源12寸KrF涂膠顯影設(shè)備順利入駐廈門士蘭集科。作為士蘭集科引入的首臺國產(chǎn)高產(chǎn)能KrF涂膠顯影機臺，沈陽芯源產(chǎn)品獲得了客戶的高度重視和充分認可，士蘭集科總經(jīng)理黃軍華、副總經(jīng)理李文深、相關(guān)技術(shù)和商務(wù)代表，沈陽芯源公司董事長兼總裁宗潤福、前道設(shè)計總監(jiān)程虎、市場總監(jiān)王星園以及現(xiàn)場服務(wù)代表出席了搬入儀式。

此次沈陽芯源公司12寸高產(chǎn)能KrF涂膠顯影量產(chǎn)機臺的順利交付，將會為士蘭集科提供更加高端的光刻工藝解決方案及服務(wù)，為士蘭集科后續(xù)高端產(chǎn)品穩(wěn)定量產(chǎn)、產(chǎn)線升級擴產(chǎn)提供更為安全的供應鏈保障。同時，士蘭集科作為中國大陸12寸晶圓特種工藝產(chǎn)線的領(lǐng)導者，也為集成電路高端設(shè)備國產(chǎn)化替代提供了優(yōu)秀的平臺和機遇。

搬入儀式完成后，雙方進行了深入友好的商務(wù)交流，沈陽芯源與士蘭集科簽署了戰(zhàn)略合作協(xié)議。本次戰(zhàn)略合作的達成，既是對過往雙方成功合作的肯定，也是對未來深入合作的無限期許，雙方也將繼續(xù)攜手前行，協(xié)同發(fā)展，同“芯”聚力，共創(chuàng)輝煌！