PAC200半自動(dòng)低溫探針臺(tái)是在低溫探測(cè)環(huán)境下(液態(tài)氮低至77 K或液態(tài)氦小于20 K)自動(dòng)測(cè)試高達(dá)300 mm的晶片和基板的理想解決方案。它支持廣泛的應(yīng)用程序。

如今，行業(yè)界的偶像和新興企業(yè)都在大力投資超導(dǎo)技術(shù)的新用途。即，應(yīng)對(duì)威脅到支持我們對(duì)數(shù)據(jù)，計(jì)算能力和互連設(shè)備不斷增長(zhǎng)的需求的計(jì)算基礎(chǔ)架構(gòu)的未來(lái)的巨大挑戰(zhàn)。量子計(jì)算(基于量子位)有望開(kāi)創(chuàng)人工智能，復(fù)雜系統(tǒng)優(yōu)化，醫(yī)學(xué)分子建模，密碼學(xué)等新紀(jì)元。使用RSFQ(快速單通量量子)，RQL(倒數(shù)量子邏輯)或類似的新邏輯系列的超導(dǎo)冷CPU有望消除巨大的能源和熱量問(wèn)題，從而限制了HPC(高性能計(jì)算)超級(jí)計(jì)算機(jī)和超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心的增長(zhǎng)和位置。

這些新的低溫處理器需要內(nèi)存，并且要保持其能源優(yōu)勢(shì)，內(nèi)存系統(tǒng)也必須是冷的。超導(dǎo)存儲(chǔ)器可能還需要幾年的時(shí)間，但是研究表明，傳統(tǒng)的CMOS DRAM結(jié)構(gòu)可以在77K等低溫下非常有效地使用。需要低溫晶片測(cè)試來(lái)調(diào)整工藝并確定存儲(chǔ)器組件可在這些溫度下使用的溫度。

該P(yáng)AC200半自動(dòng)低溫探針臺(tái)是在低溫環(huán)境下使用液氮在77 K或低于20 K的液氦下在低溫環(huán)境下自動(dòng)測(cè)試300 mm晶圓和基板的理想解決方案。它支持廣泛的應(yīng)用，包括最新硅，化合物半導(dǎo)體和超導(dǎo)體器件的DC和RF測(cè)量。探針壓板設(shè)計(jì)用于在磁性腳上安裝探針卡或最多八個(gè)真空型定位器。為了減少熱量進(jìn)入，將探針或探針卡熱錨固在低溫護(hù)罩上。行程范圍為50 mm x 50 mm的高分辨率視頻顯微鏡可安裝在帶旋轉(zhuǎn)的顯微鏡支架上，也可安裝在顯微鏡橋架上，用于振動(dòng)敏感的測(cè)試應(yīng)用和其他測(cè)試儀器。

以下是使PAC200探針系統(tǒng)靈活，穩(wěn)定和易于使用的一些值得注意的功能和優(yōu)點(diǎn)：

該系統(tǒng)是根據(jù)用戶要求定制的

它為300mm以下的晶圓或單芯片提供不同的基板載體

電動(dòng)平臺(tái)提供可編程步進(jìn)，可測(cè)試整個(gè)晶片上的多個(gè)芯片

Velox?探針臺(tái)控制軟件自動(dòng)化測(cè)試并提高生產(chǎn)率

該系統(tǒng)提供廣泛的電氣測(cè)量(IV，CV，兩端口，多端口和差分RF)

各種探針和校準(zhǔn)工具(例如校準(zhǔn)基板和WinCal XE?校準(zhǔn)軟件

可以使用其他測(cè)試設(shè)備(例如紅外光源和光學(xué)器件)

真空室和隔熱罩可提供低至77K(液氮)或低于20K(液氦)的無(wú)冰和無(wú)冷凝探測(cè)功能

壓盤(pán)最多支持8個(gè)熱錨定，可移動(dòng)探針定位器或易于更換的探針卡，以增加探針數(shù)量

高度穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)，帶有隔振臺(tái)，可提供很高的探頭放置精度–非常適合小焊盤(pán)

它設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單明了，易于操作，符合人體工程學(xué)

審核編輯：湯梓紅