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探索基于新材料和新技術的晶體管

工程師鄧生 ? 來源:學研匯 ? 作者:學研匯 ? 2022-09-14 09:21 ? 次閱讀
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現(xiàn)代社會依賴于芯片,而芯片是由數(shù)以億計的晶體管構成。iPhone 14 Pro 上搭載的A16 Bionic 芯片就由160億個晶體管組成。每一次滑動屏幕,每一個表情包,每一幀視頻,都由千千萬萬個晶體管完成。除了手機電腦,現(xiàn)代生活中幾乎所有方面都依賴晶體管,從冰箱,空調,汽車,到飛機和衛(wèi)星。

晶體管自1947年被發(fā)明以來,科學家們一直在探索基于新材料和新技術的晶體管。這個多學科交叉的領域吸引著來自微電子,材料,物理和化學等多學科背景的研究者。

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然而,不同領域研究人員之間還缺乏一致的報道和評估研究結果的規(guī)范。此外,很多晶體管的性能參數(shù)都相互關聯(lián),這使得形成統(tǒng)一的報道和評估更具挑戰(zhàn)。

如此一來,就容易出現(xiàn)報道研究結果不完整,評估結果不全面等現(xiàn)象,甚至還會導致對新材料和新技術的評估出現(xiàn)偏差。

鑒于此,由美國,歐洲和中國的大學,國家實驗室,和工業(yè)界的學者,近期聯(lián)合在Nature Electronics上發(fā)表了如何報道和評估新型晶體管的論文。

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文中,作者們列出了一些關鍵參數(shù)的清單,以及參數(shù)評估清單,作者們還提供了報道和比較的例子。

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以下給出文中的幾個例子,例子中的晶體管是基于二硫化鉬(MoS2)。

電流與開電流(IoffvsIon)

不同研究中的晶體管溝道長度不一樣,而且柵極所用的絕緣體的材料和厚度也不一致,這就意味著不同驅動晶體管工作的電壓范圍不一致。為簡易起見,作者推薦,在VDS= 1 V 時,畫出IminvsImax,右邊還可以配合圖中斜線來表示Imax/Iminratio。同時標出Imax取自一定的載流子濃度ns,例如1013cm-2。由于Imin一般取自晶體管的亞閾值狀態(tài),此時載流子濃度ns應該等于0,因此不予列出。

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有了此圖,人們就可以準確地比較某些論文中所提到的非常高的Imax/Iminratio可能只是因為有比較大的溝道長度,或者相比于柵極絕緣體的厚度而言,溝道很長。

真正創(chuàng)新的結果是用相同的溝道材料和厚度,用相同的柵極絕緣體材料和厚度,在相對較短的溝道長度里,實現(xiàn)比較高的Imax/Iminratio

IonvsLch

晶體管獲得比較高的開電流Ion才能使最終的芯片運行的速度變快。有一些論文會強調自己的器件獲得很高或者破紀錄的Ion。不過,有可能這種高的Ion是因為比較短的溝道長度,或是比較高的VDS或載流子濃度。因此,有必要在相同VDS和載流子濃度條件下,畫出IonvsLch。從這個圖可以看出溝道長度對Ion的影響,實現(xiàn)比較公平的對比和評估。

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注意,很多論文中漏電流用IDS來表示,這樣是不正確的。因為,電流的定義是電荷經(jīng)過一點的速率,因此應該用ID來表示。常用的半導體物理教材里,如S.M. Sze或Ben Streetman所編著的,也很難看到“IDS”的這種用法。而電壓的定義是兩點之間的電勢差,所以源漏之間的電壓是VDS。

亞閾值擺幅(Subthreshold Swing,SS,單位mV/dec)

小的亞閾值擺幅可以降低晶體管的工作電壓,因而減小芯片的耗電量。有一些論文會強調所報道的晶體管有破紀錄的亞閾值擺幅,尤其是在一些負電容相關器件的研究中??墒牵锌赡苓@個破紀錄的亞閾值擺幅發(fā)生在非常小的電流上(例如10-5uA/um),這樣對于降低晶體管的工作電壓的作用并不大。因此,有必要畫出”全過程”漏級電流的的SS,即SS vsID。如此,我們就可以一目了然地看到重要的漏級電流區(qū)間上的SS,例如在10-2到100uA/um區(qū)間。

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Rcvsn

作者們還著重強調了接觸電阻的報道和評估。用Transfer Length Method來得出接觸電阻時,需要保證有超過4個晶體管,而且至少有一個晶體管中接觸電阻大于溝道電阻。例如下圖中TLM A用的所有晶體管都是溝道電阻遠大于接觸電阻,這樣得出的接觸電阻容易產(chǎn)生很大的誤差,有的甚至得出接觸電阻接近于0的結論,因此作者推薦用TLM B。

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作者們還推薦用右圖中的4-probe測量來佐證TLM中得出的sheet resistance

最后需要畫出TLM得出的接觸電阻與載流子濃度的關系圖,如下圖

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展示統(tǒng)計分布

最后,作者們還呼吁,應該報道關鍵參數(shù)的統(tǒng)計分布,而不只是強調最好的一個或者幾個器件的性能,如下圖,在一定VDS和載流子濃度條件下,作者們展示了不同溝道長度的晶體管的漏電流分布:

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作者們表示,遵循一致的準則來報道和評估科學研究結果,將會有利于該領域更好的進展,推動對前沿晶體管器件的研究,創(chuàng)新和應用。




審核編輯:劉清

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原文標題:Nature Electronics: 如何報道和評估新型晶體管?

文章出處:【微信號:空間抗輻射,微信公眾號:空間抗輻射】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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