近日，上海鼎泰匠芯科技有限公司（以下簡稱“鼎泰匠芯”）潔凈室交付，首臺ASML光刻機設備搬入。

鼎泰匠芯專注于車規(guī)級半導體產(chǎn)品及通訊終端芯片的開發(fā)及制造，其控股股東聞天下也是A股上市公司聞泰科技的控股股東據(jù)此前官方介紹，該項目總投資超120億元，項目建成后可實現(xiàn)年產(chǎn)能約36萬片12英寸功率器件晶圓片，主要用于MOSFET等功率器件產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品可以廣泛應用于消費，通訊，汽車，醫(yī)療，工業(yè)等電子產(chǎn)品領域，填補中國在車規(guī)級半導體領域的諸多空白。

臨港新片區(qū)管委會高科處副處長王佩華表示，鼎泰匠心項目作為上海市重大建設項目是中國首座12英寸車規(guī)級工藝半導體晶圓廠，有利于臨港新片區(qū)完善集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài) ，支撐上海向世界級集成電路產(chǎn)業(yè)集群不斷邁進。

值得一提的是，除了鼎泰匠芯，總投資22億美元的格科微12英寸CIS集成電路半導體項目也曾在今年年初迎來ASML先進ArF光刻機設備的搬入。

ASML：中國大陸是半導體行業(yè)的重要參與者，不能被忽視

眾所周知，光刻機是光刻工藝的核心設備，也是所有半導體制造設備中技術含量最高的設備，被譽為半導體制造設備的“皇冠”。光刻的主要作用是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上，是芯片制造的核心環(huán)節(jié)。

而作為全球半導體設備光刻機龍頭，ASML也非常重視在中國的發(fā)展。據(jù)ASML全球高級副總裁、中國區(qū)總裁沈波介紹，自1988年至今，ASML在中國大陸的全方位光刻解決方案下的裝機量已超過1000臺，相應的員工數(shù)量也超過了1500人。

據(jù)2021年全年財報顯示，中國大陸已是ASML第三大市場，約占其2021年全球營業(yè)額14.7%（即27億歐元），2021年中國大陸的出貨量占其全球出貨量的16%。2022年第二季度，ASML設備在中國大陸市場的收入約為4億歐元，預計全年來自中國大陸市場的收入將同比增長10%左右。

此外，ASML高管也曾多次強調(diào)中國市場對ASML以及全球半導體市場發(fā)展的重要性。

7月，ASML首席執(zhí)行官彼得·韋尼克（Peter Wennink）在披露二季度財報時表示：中國大陸是半導體行業(yè)的重要參與者，是全球市場非常重要的供應商，尤其在更成熟的20nm到65nm，這些節(jié)點都與DUV有關，無論是干式DUV還是浸沒式DUV。世界不能忽視“中國半導體產(chǎn)能對全球電子產(chǎn)業(yè)的重要性”。

今年10月，ASML在三季報中表示，根據(jù)初步評估，美國新頒布的出口管制條例并未修訂ASML從荷蘭運出光刻設備的規(guī)則，預計其對ASML 2023年整體出貨計劃的直接影響有限。換言之，ASML可照舊繼續(xù)向中國出貨非EUV光刻機。

審核編輯 ：李倩