「前沿技術(shù)」Onto Innovation發(fā)布新型聲學(xué)薄膜計(jì)量系統(tǒng)
來源：《半導(dǎo)體芯科技》雜志10/11月刊
Onto Innovation公司推出創(chuàng)新薄膜聲學(xué)計(jì)量系統(tǒng)。新的Echo?系統(tǒng)進(jìn)一步擴(kuò)大了不透明薄膜在線表征和計(jì)量能力，利用皮秒超聲原理，為前沿DRAM和高堆棧NAND存儲(chǔ)器提供關(guān)鍵厚度計(jì)量和材料表征。對于這些先進(jìn)的架構(gòu)，Echo系統(tǒng)提供了關(guān)鍵的金屬薄膜計(jì)量，使更高的內(nèi)存帶寬和位密度成為可能。Echo系統(tǒng)也可以在專業(yè)領(lǐng)域?yàn)楦鞣N設(shè)備提供金屬厚度和表征，包括5G通信的射頻濾波器，以及電動(dòng)汽車（EV）和高速便攜式充電器的功率器件。
Echo不透明薄膜聲學(xué)計(jì)量系統(tǒng)。能夠測量從50?到35μm厚度的單層或多層薄膜，處理100-300mm尺寸的晶圓。隨著垂直NAND設(shè)備中層疊的不斷增加，關(guān)鍵的沉積步驟，如硬掩膜，對通道孔形成過程至關(guān)重要。這些薄膜的準(zhǔn)確厚度和機(jī)械性能對于確保薄膜在整個(gè)蝕刻過程中保持完整性極為關(guān)鍵。通過利用Onto以工具為中心的軟件，Echo系統(tǒng)在HVM客戶現(xiàn)場可以提供完整的解決方案，其中晶圓上的計(jì)量被用于閉環(huán)反饋，對關(guān)鍵的薄膜沉積步驟進(jìn)行過程控制。
Echo系統(tǒng)的信噪比（SNR）是現(xiàn)有產(chǎn)品的三倍，它支持廣泛的薄膜厚度，從厚度非常薄的50?薄膜到35μm厚的不透明薄膜和金屬層。此外，Echo系統(tǒng)具有材料表征能力，包括植入監(jiān)測在線時(shí)域熱反射和熱導(dǎo)率表征。
審核編輯黃昊宇
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點(diǎn)僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報(bào)投訴
-
半導(dǎo)體
+關(guān)注
關(guān)注
339文章
30870瀏覽量
265106 -
薄膜
+關(guān)注
關(guān)注
1文章
363瀏覽量
46232
發(fā)布評(píng)論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點(diǎn)推薦
功率模塊前沿技術(shù)解析：寬禁帶+高集成，引領(lǐng)電力電子新趨勢
功率模塊的技術(shù)迭代，始終圍繞“高效、高密、高可靠、智能化”核心，寬禁帶技術(shù)和高集成設(shè)計(jì)是當(dāng)下最核心的發(fā)展方向。對于電子工程師來說，提前掌握前沿技術(shù)，才能在新一代產(chǎn)品研發(fā)中占據(jù)優(yōu)勢，打造更具競爭力的電力電子設(shè)備。
聲智科技受邀赴奧迪總部開展前沿技術(shù)交流
近日，聲智科技受奧迪邀請前往德國英戈?duì)柺┧兀趭W迪全球總部開展“Minds & Makers”主題的前沿技術(shù)交流與合作探討。過程中，聲智圍繞聲學(xué) AI 技術(shù)的三大核心能力“聲學(xué)感知、
關(guān)于發(fā)布2025年廈門市重點(diǎn)科技計(jì)劃項(xiàng)目（前沿技術(shù)及未來產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域）申報(bào)指南的通知
委辦發(fā)〔2022〕13號(hào)）有關(guān)要求，現(xiàn)發(fā)布2025年廈門市重點(diǎn)科技計(jì)劃項(xiàng)目（前沿技術(shù)及未來產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域）申報(bào)指南。有關(guān)申報(bào)事項(xiàng)通知如下：一、支持的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域及重點(diǎn)方向（
Google Cloud展示一系列前沿技術(shù)更新
在 2025 Google 谷歌開發(fā)者大會(huì)上，Google Cloud 展示了一系列前沿技術(shù)更新——不僅是模型升級(jí)，更是智能體、創(chuàng)意、行業(yè)應(yīng)用的全面進(jìn)化。這些前沿技術(shù)，正為出海開發(fā)者提供強(qiáng)大的技術(shù)支撐，助力他們打造面向全球用戶的
北斗智聯(lián)在空天信息領(lǐng)域再獲前沿技術(shù)突破
近日，重慶市經(jīng)濟(jì)信息委發(fā)布《重慶市未來產(chǎn)業(yè)標(biāo)志性產(chǎn)品名單》，北斗智聯(lián)科技有限公司（簡稱“北斗智聯(lián)”）自主研發(fā)的“衛(wèi)星導(dǎo)航通信融合智能裝置”成功入選空天信息方向三大標(biāo)志性產(chǎn)品之一，獲此殊榮標(biāo)志著北斗智聯(lián)在空天信息領(lǐng)域再獲前沿技術(shù)突破，進(jìn)一步鞏固了在衛(wèi)星通導(dǎo)領(lǐng)域應(yīng)用的領(lǐng)先地位
喜報(bào) | 中科億海微獲批2025年度省前沿技術(shù)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目
中科億海微獲批2025年度省前沿技術(shù)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目近日，江蘇省科學(xué)技術(shù)廳發(fā)布《2025年度省前沿技術(shù)研發(fā)計(jì)劃擬立項(xiàng)目公示》，由中科億海微電子科技（蘇州）有限公司（以下簡稱中科億海微）牽頭
聲智科技與螞蟻集團(tuán)共探聲學(xué)AI前沿技術(shù)
當(dāng)聲學(xué)AI遇上金融科技，會(huì)碰撞出怎樣的火花？當(dāng)聲學(xué)AI模型賦能AI硬件產(chǎn)品，又將如何重塑人機(jī)交互的邊界？近日，聲智科技受邀參加螞蟻集團(tuán)《AI圓桌派》內(nèi)部分享會(huì)，一場關(guān)于聲學(xué)AI前沿技術(shù)
MediaTek前沿技術(shù)開啟智能化未來
為了搞定越來越龐大的 AI 運(yùn)算需求，MediaTek 憑借先進(jìn)制程解決方案、高速芯片互聯(lián)接口、采用先進(jìn)封裝技術(shù)，以及客制化高帶寬內(nèi)存（HBM）整合方案等，讓前沿技術(shù)的商業(yè)化落地成為可能。此外
天合光能亮相第十八屆全球光伏前沿技術(shù)大會(huì)
近日，第十八屆全球光伏前沿技術(shù)大會(huì)在上海開幕。天合光能戰(zhàn)略、產(chǎn)品與市場負(fù)責(zé)人張映斌博士受邀發(fā)表主題演講并倡導(dǎo)：隨著背面發(fā)電技術(shù)的進(jìn)步，光伏行業(yè)應(yīng)與時(shí)俱進(jìn)、全面升級(jí)以組件綜合效率及綜合發(fā)電為核心指標(biāo)的評(píng)價(jià)新體系。
Actran聲學(xué)仿真解決方案：工業(yè)級(jí)聲學(xué)預(yù)測與優(yōu)化的專業(yè)技術(shù)平臺(tái)
問題？如何平衡計(jì)算精度與效率？Actran聲學(xué)仿真軟件作為專業(yè)的聲學(xué)工程解決方案，針對這些挑戰(zhàn)提供了系統(tǒng)性的技術(shù)應(yīng)對策略。 Actran的核心技術(shù)
青銅劍技術(shù)亮相第九屆電氣化交通前沿技術(shù)論壇
此前，5月22-24日，第九屆電氣化交通前沿技術(shù)論壇在秦皇島成功舉辦。青銅劍技術(shù)攜功率器件驅(qū)動(dòng)整體解決方案精彩亮相，全面展示了公司在驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢與創(chuàng)新成果，成為現(xiàn)場關(guān)注的焦點(diǎn)。
MediaTek新一代前沿技術(shù)亮相COMPUTEX 2025
計(jì)算的新一代前沿技術(shù)；MediaTek 副董事長暨執(zhí)行長蔡力行博士于 5 月 20 日發(fā)表主題演講，深入探討 AI、6G、邊緣計(jì)算、云計(jì)算在數(shù)字化轉(zhuǎn)型浪潮中所扮演的角色，并展現(xiàn) MediaTek 將無處不在的智慧融合運(yùn)算帶給全球用戶的企業(yè)愿景。
廣電計(jì)量亮相2025“世界計(jì)量日”計(jì)量技術(shù)論壇
近日，在第26個(gè)“世界計(jì)量日”到來之際，由廣電計(jì)量主辦的“計(jì)量強(qiáng)基護(hù)航產(chǎn)業(yè) 賦能時(shí)代創(chuàng)新變革”計(jì)量技術(shù)論壇在北京舉行。本次論壇匯聚中國
基于先進(jìn)MCU的機(jī)器人運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)：理論、實(shí)踐與前沿技術(shù)
摘要 ：隨著機(jī)器人技術(shù)的飛速發(fā)展，對運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的性能要求日益嚴(yán)苛。本文聚焦于基于先進(jìn)MCU（微控制單元）的機(jī)器人運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，深入剖析其理論基礎(chǔ)、實(shí)踐方法與前沿技術(shù)。以國科安芯的
MediaTek在MWC 2025展示前沿技術(shù)
MediaTek 在 MWC 2025 上展示了超多領(lǐng)域的前沿技術(shù)，讓我們一起來回顧一下吧！
工商網(wǎng)監(jiān)
評(píng)論