背景：

Metal Fill或者說Dummy Metal對Timing是有影響的，在比較老的工藝、規(guī)模比較小的Design中影響是比較小的，甚至不考慮它們對于Timing的影響去流片也不是說一定不行（當(dāng)然，如果有條件的話最好還是帶著Dummy GDS文件去做RC抽取，然后做STA的Signoff）。但是，而隨著工藝節(jié)點的縮小以及Design規(guī)模的增大，它對Timing的影響也變得逐漸不可忽略。

注：在Calibre中加的Dummy是小方塊的metal/via，它對Timing的影響相對較小，而在PR工具中加的Rect對Timing的影響相對比較大，PR工具中加完Metal Fill之后也能看到它對Timing的影響，還能做Timing aware的Metal fill insertion，這種在StarRC抽取RC的時候也能考慮它們的影響。

Dummy對Timing的影響：

如下圖所示是一個基于180nm工藝，非常大規(guī)模的幾百萬門的設(shè)計在用Calibre產(chǎn)生Dummy GDS之后，不帶它和帶上它做寄生RC抽取做STA分析的結(jié)果對比：

不帶Dummy GDS的STA結(jié)果:

帶Dummy GDS的STA結(jié)果:

整個Design的規(guī)模比較大，帶上Dummy GDS去抽RC進(jìn)行STA之后，發(fā)現(xiàn)Setup和Hold都有變差。

對Setup WNS的影響在小數(shù)點第三位，WNS惡化了(1.314942-1.310551)/1.310551=0.34%

TNS惡化了(1.712446-1.695256)/1.695256=1.01%

對Hold WNS的影響也在小數(shù)點后第三位，WNS惡化了

(0.053709-0.052008)/0.052008=3.27%

TNS惡化了(0.363444-0.326634)/0.326634=11.27%

因此其實只要Setup/Hold的margin留的比較足，那么對于這個設(shè)計和這個工藝節(jié)點而言不用Dummy GDS去抽RC做STA也是OK的。

但是保險起見還是最好加上Dummy GDS去做Timing的Signoff，這樣比較安全。另外就是對于40/28nm工藝以及以下工藝節(jié)點，Dummy對于Timing的影響就比較大了，也是推薦加上Dummy GDS去做RC抽取、STA分析，然后根據(jù)STA結(jié)果做ECO。當(dāng)然現(xiàn)在的PR工具也可以調(diào)用ICV做Timing aware的Metal Fill Insertion的，如果Flow支持的話用這種方式自然是更好的。

審核編輯：湯梓紅