壓阻式MEMS加速度計由于其帶寬寬、結(jié)構(gòu)和后處理電路簡單，已經(jīng)廣泛應用于智能制造、車輛監(jiān)控和軍事國防領(lǐng)域。靈敏度和固有頻率是決定加速度計在各種應用中表現(xiàn)性能的兩個關(guān)鍵參數(shù)。

然而，在傳統(tǒng)的懸臂梁結(jié)構(gòu)或基于多梁結(jié)構(gòu)的MEMS加速度計中，壓敏電阻直接布置在支撐梁的應力集中區(qū)域，導致了固有頻率和靈敏度之間的直接耦合關(guān)系，這使其難以同時實現(xiàn)高靈敏度和固有頻率。

已有研究提出了剛性支撐梁和相對柔性壓阻梁的結(jié)構(gòu)，以削弱固有頻率和靈敏度之間的權(quán)衡效應。隨后的研究表明，純軸向應力壓阻傳感梁可以在不降低固有頻率的情況下實現(xiàn)高靈敏度。然而，為了實現(xiàn)純軸向應力，壓阻傳感梁需要特別定位，這增加了設計難度。

例如，西安交通大學機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室、微納制造與測試技術(shù)國際合作聯(lián)合實驗室的一支研究團隊此前在經(jīng)過復雜設計計算后，設計了一種新型壓阻式MEMS加速度計，以獲得壓阻梁處于純軸向應力狀態(tài)的特殊位置，然后獲得高靈敏度輸出。

目前，大多數(shù)此類研究都集中在單軸MEMS加速度計上，在使用多個單獨安裝的單軸MEMS加速度計測量多向振動時，會不可避免地引入安裝誤差，并增加傳感系統(tǒng)的尺寸。越來越多的應用需要多軸加速度監(jiān)測，因此，研制高性能的三軸MEMS加速度計至關(guān)重要。

近幾十年，通過廣泛的研究已經(jīng)證實多軸測量能力的優(yōu)勢。研究結(jié)果表明，三個敏感軸的測量一致性仍不夠理想，其中低靈敏度和固有頻率限制了其應用。

據(jù)麥姆斯咨詢報道，該研究團隊近日在Microsystems & Nanoengineering期刊上發(fā)表了一篇題為“Monolithically integrated triaxial high-performance micro accelerometers with position-independent pure axial stressed piezoresistive beams”的研究論文，提出了一種高性能三軸MEMS加速度計，得益于位置無關(guān)的純軸向應力壓阻傳感梁，在所有軸上都獲得了高靈敏度和高固有頻率。并且，純軸向應力的實現(xiàn)不需要復雜的理論計算。

單片集成三軸MEMS加速度計結(jié)構(gòu)示意圖

單片集成三軸MEMS加速度計每個測量單元的工作原理

在z軸測量單元中提出了一種新的互鎖檢測質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)，以確保全惠斯通電橋以提高靈敏度。然后，基于有限元數(shù)值仿真用于計算應力狀態(tài)和固有頻率。最后，研究人員完成了MEMS加速度計的制造，并對其性能進行了測試。

研究結(jié)果表明，該MEMS加速度計具有高靈敏度、高固有頻率和低交叉靈敏度。這將有力推動壓阻式加速度計在高鐵軸箱故障診斷和精密加工狀態(tài)監(jiān)測等領(lǐng)域的應用。

MEMS加速度計制造工藝流程圖，以及MEMS加速度計芯片和封裝

實驗平臺，以及利用實驗平臺對加速度計的靜態(tài)和動態(tài)性能進行測試

綜上，研究人員提出了一種具有位置無關(guān)的純軸向應力壓阻梁的新型單片集成三軸MEMS加速度計，具有極高的靈敏度、高固有頻率和低交叉靈敏度。通過控制壓阻梁兩端的同步位移，實現(xiàn)了位置無關(guān)的純軸向應力狀態(tài)。

這種方案大大簡化了MEMS加速度計的設計過程。其中，z軸測量單元創(chuàng)造性地設計為互鎖結(jié)構(gòu)，以確保全惠斯通電橋。通過有限元仿真和測試驗證了其純軸向應力狀態(tài)、高靈敏度和高固有頻率。該加速度計x、y和z軸測量單元的靈敏度分別為2.43?mV/g/5?V、2.44?mV/g/5?V和2.41?mV/g/5?V。三個測量單元的固有頻率分別為11.4?kHz、11.4?kHz和13.2?kHz。結(jié)果表明，這種位置無關(guān)的純軸向應力壓阻梁展現(xiàn)了優(yōu)異的性能。

審核編輯：劉清