對(duì)于現(xiàn)代愈發(fā)復(fù)雜的工藝檢測(cè)，諸如半導(dǎo)體、電子封裝及光學(xué)加工等產(chǎn)業(yè)中，由于表面微觀輪廓結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性決定著產(chǎn)品的功能和效能，所以不管是拋光表面還是粗糙表面的工件（諸如半導(dǎo)體硅片及器件、薄膜厚度、光學(xué)器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要測(cè)量斷差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、體積、線寬等。

同為微納米級(jí)表面光學(xué)分析儀器，白光干涉儀和激光共聚焦顯微鏡都具有非接觸式、高速度測(cè)量、高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，都有表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能，適用范圍廣，可測(cè)多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu)。但白光干涉儀與共聚焦顯微鏡還是有著不同之處。

1、測(cè)量原理

白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理，實(shí)現(xiàn)器件亞納米級(jí)表面形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器；

SuperViewW1白光干涉儀

共聚焦顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理，實(shí)現(xiàn)器件微納米級(jí)表面形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀。

VT6000激光共聚焦顯微鏡

共焦顯微鏡光路示意圖

2、應(yīng)用

白光干涉儀多用于測(cè)量大范圍光滑的樣品，尤其擅長(zhǎng)亞納米級(jí)超光滑表面的檢測(cè)，追求檢測(cè)數(shù)值的準(zhǔn)確；（SuperViewW1白光干涉儀測(cè)量行程有140*100*100㎜，對(duì)于測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域表面情況，還可以使用自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能。拼接測(cè)量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個(gè)區(qū)域測(cè)量，就可以快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析。）

超光滑透鏡測(cè)量

自動(dòng)拼接功能

大尺寸樣品拼接測(cè)量

而VT6000激光共聚焦顯微鏡更容易測(cè)陡峭邊緣，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，雖在檢測(cè)分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。

審核編輯黃宇