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電子行業(yè)應該怎樣對靜電壓進行檢測?

HyperBroli ? 來源:HyperBroli ? 作者:HyperBroli ? 2023-04-28 13:43 ? 次閱讀
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如今,許多類型的微電子行業(yè)需要有效控制生產不良率和質量可靠性問題,包括集成電路制造(晶圓制造和芯片密封測試)、平板顯示制造(前段TFTFab、中段LCD成盒組裝/OLED組裝后顯示模塊,MEMS(前段晶圓制造與后段器件封裝)等等。

以工廠人體靜電引起的微電子設備問題為例(HumanBodyModel,人體靜電放電模型),讓我們檢查人體靜電分析與人體靜電相關的技術認知和實踐方法。

基于這種情況LED靜電失效機理(正向導通靜電放電),人體放電產生的放電電流范圍越大,這SMDLED電性失效的風險越高(通常SMDLED工作電流幅值幾毫安)(LCD屏幕模組工廠中LED靜電損傷常稱為壞燈—即通低電流不再發(fā)光);

因此,要有效保護SMDLED不會被工作人員身體上的靜電放電“擊穿”,就必須將工作中操作人員的人體靜電壓管控得足夠低(由LED承載電流*確定人體皮膚電阻)。

因此,在工廠的靜電保護實踐中,必須做的是檢測人體靜電帶電的真實水平,即檢測人體靜電的有效方法,以確認工廠當前的人體靜電控制措施是否足夠有效。如果您不知道怎樣檢測,可以來看看深圳斯泰科微的靜電壓傳感器和人體行走電壓測試儀,多款產品皆可滿足您的需求。

現實情況是,相當多的電子制造工廠采用基于國際工業(yè)的人體靜電壓檢測方法ESD標準(美標ANSI/ESDS20.20、歐標IEC61340-5-1)測試方法,即借助CPM設備(Charged Plate Monitor,靜電充電板測試儀)。

那么,這種檢測人體靜電(靜電壓)的方法真的能反映人體靜電帶電量嗎?如果人體靜電檢測方法失真,會對工廠人體靜電控制的技術分析和判斷造成一定的干擾或誤差。

只要你了解CPM基于基本的物理分析,可以明確判斷設備測量靜電壓及其充電板的電容參數:

CPM通過其充電板與人體串聯(lián),人體靜電并聯(lián)20pF由此產生的人體靜電壓必須明顯低于人體原有的靜電壓(人體靜電荷/人體對地電容)(人體對地電容一般為100pF左右),即,CPM通過測量人體靜電壓獲得的數據顯偏小失真。

那么,如何實現無失真檢測人體靜電帶電的目的呢?

其實有CPM方法檢測人體靜電壓,即消除靜電壓測量儀器并聯(lián)電容的影響,即用非接觸式靜電壓計測量人體皮膚(如手掌)的靜電壓。

因此,通過上述人體靜電對SMDLED根據對放電機制和人體靜電壓檢測方法的分析,電子工廠靜電保護實踐中還有許多其他內容需要重新檢測工廠目前的做法是否合理,是否存在偏差。

審核編輯:湯梓紅

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