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粗糙度儀工作原理詳解

中圖儀器 ? 2021-11-08 16:41 ? 次閱讀
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粗糙度儀有接觸式粗糙度儀和非接觸式粗糙度儀兩種。

  • 接觸式粗糙度儀

接觸式粗糙度儀工作原理為觸針掃描法,當(dāng)觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時,由于被測表面輪廓峰谷起伏, 觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產(chǎn)生上下移動,把這種移動通過電子裝置把信號加以放大, 然后通過指零表或其它輸出裝置將有關(guān)粗糙度的數(shù)據(jù)或圖形輸出來。

poYBAGGI4siAAHQCAABasQDqcBY019.jpgSJ325便攜式粗擦度儀

  • 非接觸式粗糙度儀

非接觸式粗糙度儀為白光干涉儀。

pYYBAGGI4siAAc52AACZAS9s7Dc435.jpgW1型白光干涉儀

白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

poYBAGGI4siAOqIJAACDufbLhdY997.jpg
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