隨著我國(guó)制造業(yè)不斷邁向精密化、高端化，對(duì)檢測(cè)手段和檢測(cè)能力提出了更高的要求，作為產(chǎn)品輪廓尺寸檢測(cè)儀器的3D輪廓測(cè)量?jī)x， Z軸的測(cè)量精度已達(dá)到微米級(jí)，以其超高的測(cè)量精度，在先進(jìn)制造領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x

中圖儀器VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x，是一款用于半導(dǎo)體、3C電子、醫(yī)療器械、磁性材料、精密機(jī)械等領(lǐng)域的無(wú)接觸式掃描3D輪廓成像設(shè)備，工件無(wú)需定位，自動(dòng)識(shí)別，一鍵閃測(cè)，輕松獲得2D/3D參數(shù)。其具有能夠抑制樣品表面多重反射、漫反射所帶來(lái)影響的線激光測(cè)頭，實(shí)現(xiàn)超高精度測(cè)量。

上圖展示的是工件的三維形貌，VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x能在幾秒鐘之內(nèi)超高精度地呈現(xiàn)目標(biāo)工件的真實(shí)形狀，最后呈現(xiàn)不同顏色變化的3D圖像是軟件利用高度測(cè)量數(shù)據(jù)形成的高低差來(lái)顯示的，軟件可以選擇相應(yīng)測(cè)量面，快速得到最高點(diǎn)和最低點(diǎn)信息。

電子電路測(cè)量

VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x對(duì)電子電路樣品表面進(jìn)行掃描，溝槽輪廓一覽無(wú)余，如上圖所示，我們從圖像上提取一條剖面輪廓曲線，可以清楚地看到溝槽的輪廓曲線，此時(shí)使用輪廓分析功能對(duì)特征區(qū)域進(jìn)行高度等尺寸數(shù)據(jù)標(biāo)注。豐富的2D測(cè)量工具，可通過(guò)截面形狀對(duì)高度、寬度、角度以及R角進(jìn)行各種測(cè)量。

半導(dǎo)體產(chǎn)品測(cè)量

除2D尺寸測(cè)量外， VJ系列3D輪廓測(cè)量?jī)x還能夠自由地對(duì)工件（如上圖半導(dǎo)體工件）進(jìn)行3D幾何運(yùn)算，例如：平面度、共面度、輪廓度等形位公差。

CNC批量測(cè)量

多工件批量測(cè)量時(shí)，軟件可以建立模板，CNC模式下，只需按下啟動(dòng)鍵，儀器即可根據(jù)工件的形狀自動(dòng)定位測(cè)量對(duì)象、匹配模板、測(cè)量評(píng)價(jià)、報(bào)表生成，真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測(cè)量。

檢測(cè)報(bào)告

“沒(méi)有超精密測(cè)量，就不會(huì)有高質(zhì)量的高端裝備制造?！盫J系列3D輪廓測(cè)量?jī)x，以其快速便捷、高效穩(wěn)定的性能助力先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展！