光刻曝光是指利用紫外光源將膠片或其他透明物體上的圖像信息轉(zhuǎn)移到涂有光敏材料（光刻膠）表面以得到高精度和極細(xì)微圖案的一種制作工藝，主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、高精密集成電路、PCB板制造、MEMS等行業(yè)。光刻技術(shù)是半導(dǎo)體工業(yè)和集成電路是最為核心的制造技術(shù)。

半導(dǎo)體光刻行業(yè)主要使用的是紫外光源，包括i線（365nm）、h 線（405 nm）和g線（436 nm）。傳統(tǒng)光刻技術(shù)中使用的大多數(shù)紫外光源是汞放電燈，因?yàn)檫@些光源結(jié)構(gòu)具有較為穩(wěn)定的輸出強(qiáng)度和穩(wěn)定度。但汞燈的工作壽命短，幾個(gè)月就必須進(jìn)行更換，維護(hù)成本高；汞燈內(nèi)含有毒氣體，在生產(chǎn)和使用過程中對(duì)人體和環(huán)境危害大；每次使用前必須進(jìn)行預(yù)熱，不能隨用隨開，并且光能轉(zhuǎn)換率低。這些技術(shù)上的缺點(diǎn)成為制約汞燈大規(guī)模應(yīng)用的主要原因。

伴隨著十多年來半導(dǎo)體技術(shù)以及UVLED的熱度，性能優(yōu)異的UVLED光源為紫外曝光和光刻設(shè)備帶來了革命性的變化。與傳統(tǒng)汞燈相比，UVLED光源能夠續(xù)且穩(wěn)定地輸出高功率的紫外光，工作壽命達(dá)上萬小時(shí)以上，極大程度地降低了維修率和成本，并且安全性高，完全無有害重金屬，電路控制簡單且集成冷卻系統(tǒng)。因此，UVLED光源取代傳統(tǒng)的汞燈光源是一種必然的發(fā)展趨勢。

虹科ALE/1C紫外光源

性能簡介

01

虹科ALE/1C紫外光源系統(tǒng)是一種超高功率LED輻照系統(tǒng)，可取代傳統(tǒng)的汞放電燈。該光源包含兩個(gè)系統(tǒng)來使用：控制系統(tǒng)（CSS）和曝光系統(tǒng)（ESS），將控制系統(tǒng)和光源系統(tǒng)一分為二，提供高功率和緊湊性，易于集成到機(jī)器中。曝光系統(tǒng)可與光導(dǎo)管、導(dǎo)光板等各種光學(xué)元件結(jié)合使用。

應(yīng)用領(lǐng)域

02

虹科ALE/1C紫外光源系統(tǒng)可適用于

4〃、6〃和8〃晶圓的掩模對(duì)準(zhǔn)器、1X晶圓步進(jìn)器和微型步進(jìn)器以及任何高均勻精度曝光場景

技術(shù)亮點(diǎn)

03

• 內(nèi)置解決方案可實(shí)現(xiàn)最大曝光效率和性能
• 高達(dá)70W的i-line曝光（CWL 365 nm）
• 高達(dá)80W的寬帶曝光（350-450 nm）
• 閉環(huán)控制光輸出
• LED工藝穩(wěn)定性和TCO優(yōu)勢
• 無需外部冷卻
• 無汞！節(jié)能環(huán)保的LED光源

性能優(yōu)勢

04

（1）實(shí)現(xiàn)最高光強(qiáng)的光譜模塊化，實(shí)現(xiàn)1KW和2KW汞弧燈的照明功率，

完美替代高功率汞燈。

（2）采用分布式設(shè)計(jì)方法，其中控制子系統(tǒng)（CSS）與小面積曝光子系統(tǒng)（ESS）分離，直接集成到準(zhǔn)直曝光設(shè)備（即掩模對(duì)準(zhǔn)器）中。

提供一系列均勻化光管、柔性液體光導(dǎo)和聚光光學(xué)器件，可與ALE/1C曝光子系統(tǒng)結(jié)合使用。

虹科ALE/2紫外光源

性能簡介

01

虹科ALE/2紫外光源系統(tǒng)是高輸出、高穩(wěn)定的LED紫外線光源裝置，輸出功率最高可至80W。ALE/2紫外光源最多可內(nèi)置4種LED，可輸出多個(gè)波長（365 nm / 385 nm / 405 nm / 435 nm），并且可配置搭載多個(gè)相同波長的模塊，實(shí)現(xiàn)

高強(qiáng)度i線或g線輸出。虹科ALE/2的LED模塊易于更換，可靈活應(yīng)對(duì)程序變更，易于集成到新的或現(xiàn)有設(shè)置中，是適應(yīng)未來科技發(fā)展的無汞光源。

應(yīng)用領(lǐng)域

02

虹科ALE/2 紫外光源系統(tǒng)可適用于8寸和12寸曝光機(jī)、先進(jìn)封裝投影***、晶圓邊緣曝光、光掩模檢查、質(zhì)量保證和檢查（NDT），在汽車、電子、光電子、制藥和生命科學(xué)領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用市場。

技術(shù)亮點(diǎn)

03

內(nèi)置解決方案可實(shí)現(xiàn)最大曝光效率和性能

高達(dá)70W的i-line曝光（CWL 365 nm）

高達(dá)80W的寬帶曝光（350-450 nm）

閉環(huán)控制光輸出

LED工藝穩(wěn)定性和TCO優(yōu)勢

無需外部冷卻

無汞！節(jié)能環(huán)保的LED光源

性能優(yōu)勢

04

（1）實(shí)現(xiàn)超高功率紫外線輸出，最高可達(dá)80W，是光刻設(shè)備中替代2-5KW汞燈的完美解決方案。

（2）虹科ALE/2曝光光源系統(tǒng)遵循分布式設(shè)計(jì)方法，通常由一個(gè)控制子系統(tǒng) (CSS) 和一個(gè)單獨(dú)的曝光子系統(tǒng)(ESS) 組成，ESS可直接接入到曝光系統(tǒng)中。