SuperViewW1白光輪廓儀是以白光干涉技術為原理，實現(xiàn)器件亞納米級表面形貌測量的光學檢測儀器。多用于測量大范圍光滑的樣品，尤其擅長亞納米級超光滑表面的檢測，追求檢測數(shù)值的準確；測量行程有140*100*100㎜，對于測量物體整個區(qū)域表面情況，還可以使用自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能。拼接測量功能3軸光柵閉環(huán)反饋，在樣品表面抽取多個區(qū)域測量，就可以快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量，從而對樣品進行評估分析。

以共聚焦測量技術為原理的VT6000共聚焦顯微鏡，擅長微納級粗糙輪廓的檢測，更容易測陡峭邊緣，雖在檢測分辨率上略遜，但成像圖色彩斑斕，便于觀察。