上海伯東某客戶生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設(shè)置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應(yīng)用于 CVD 設(shè)備.

真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單獨進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s

上海伯東銷售維修氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.

	型號	ASM 340 W
	對氦氣的最小檢測漏率	5E-13 Pa m3/s
	檢測模式	真空模式和吸槍模式
	檢測氣體	4He, 3He, H2
	啟動時間 min	3
	對氦氣的抽氣速度 l/s	2.5
	進氣口最大壓力 hPa	25
	前級泵抽速 m3/h	油泵 15
	重量 kg	56

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用.氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>

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