10月26日，2023年全國(guó)電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì)在東莞市召開。國(guó)儀量子在會(huì)議期間重磅發(fā)布自主研制的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500、超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X，開啟了國(guó)產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的全新時(shí)代。

發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，國(guó)儀量子應(yīng)用工程師詳細(xì)介紹了兩款全新電鏡的研發(fā)歷程與技術(shù)細(xì)節(jié)，并現(xiàn)場(chǎng)演示了雙束電鏡的測(cè)樣過(guò)程，點(diǎn)燃了與會(huì)嘉賓對(duì)國(guó)產(chǎn)高端電鏡的熱情。

與用戶共創(chuàng)！開啟國(guó)產(chǎn)電鏡全新時(shí)代

多年來(lái)，國(guó)儀量子的工程師持續(xù)深入現(xiàn)場(chǎng)，走到用戶身邊，挖掘其對(duì)性能、操作等多維度需求，并將這些反饋落實(shí)到產(chǎn)品規(guī)劃中。

張澤院士（右三）、陳江華教授（左四）、馬德生老師（左二）與國(guó)儀量子副總裁張偉（右二）、副總裁曹峰（左三）等人合影

此前，國(guó)產(chǎn)電鏡技術(shù)一直局限在顯微成像層面，難以滿足更高層次的微納表征、測(cè)量加工制造等綜合性需求。國(guó)儀量子抓住用戶痛點(diǎn)，基于深厚的技術(shù)積累與出色的產(chǎn)品工程化能力，研發(fā)了自主可控的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500。這標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)電鏡正式邁入了微納加工的全新時(shí)代。

針對(duì)有著更小觀測(cè)尺度、更高分辨率觀測(cè)需求的科研用戶，國(guó)儀量子推出了敢為人先、極具挑戰(zhàn)意識(shí)的，超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。進(jìn)一步夯實(shí)了國(guó)產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

DB500

優(yōu)雅精“制”DB500

DB500擁有自主可控的場(chǎng)發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機(jī)械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機(jī)構(gòu)，擁有24個(gè)擴(kuò)展口，配置全面，自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，為您打造全能納米分析和加工中心。

離子鏡筒"承影"

分辨率：3 nm@30 kV

探針電流：1 pA~50 nA

加速電壓范圍：500 V~30 kV

使用壽命：≥1000小時(shí)

長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性：72小時(shí)不間斷工作

納米機(jī)械手

倉(cāng)內(nèi)安裝方式

三軸全壓電驅(qū)動(dòng)

步進(jìn)精度≤10nm

最大移動(dòng)速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍：室溫~90℃

集成式控制方式

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)DB50001高壓隧道技術(shù)和無(wú)漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品02“承影”離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣03樣品倉(cāng)內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手，集成式控制方式，操作精準(zhǔn)到位04自主可控，擴(kuò)展性強(qiáng)，集成化設(shè)計(jì)的離子源更換時(shí)間快，極致的售后服務(wù)，提供免費(fèi)的三年質(zhì)保無(wú)憂服務(wù)

超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X

超高分辨 挑戰(zhàn)極限SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級(jí)，實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉(cāng)，擴(kuò)展接口增加至16個(gè)，快速換樣倉(cāng)最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級(jí)掃描模式和自動(dòng)功能增強(qiáng)，帶來(lái)了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)SEM5000X01超高分辨率成像，達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02樣品臺(tái)減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場(chǎng)景03高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺(tái)、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì)，可搭配整體罩殼設(shè)計(jì)，極大減弱環(huán)境對(duì)極限分辨率的影響04最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉(cāng)，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

本屆會(huì)議期間，來(lái)自全國(guó)的近2000位顯微學(xué)人齊聚一堂，以振興電子顯微學(xué)事業(yè)發(fā)展為己任，瞄準(zhǔn)國(guó)家重大需求和國(guó)際前沿科學(xué)問(wèn)題，不斷為我國(guó)卡脖子難題的攻克貢獻(xiàn)中國(guó)電子顯微學(xué)者不可或缺的重要力量。國(guó)儀量子秉承”為國(guó)造儀“的初心，基于市場(chǎng)與用戶需求，堅(jiān)持自主創(chuàng)新與科研攻關(guān)，為國(guó)產(chǎn)高端科學(xué)儀器發(fā)展和國(guó)家科技自立自強(qiáng)不懈努力。