半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,晶圓加工工藝過程復(fù)雜,為保證質(zhì)量,幾乎加工過程中的每一步工序質(zhì)量都需要進(jìn)行檢測(cè),否則缺陷產(chǎn)品流入下一道工序,不僅對(duì)產(chǎn)品的整體質(zhì)量有很大影響,而且會(huì)造成生產(chǎn)成本的巨大浪費(fèi)。
如何提高切割品質(zhì),盡可能減少崩邊產(chǎn)生對(duì)劃片機(jī)來說是至關(guān)重要的。劃片機(jī)的刀片平整度直接影響芯片的切割,從而影響芯片的質(zhì)量和性能。劃片機(jī)切割時(shí)工件表面有雜質(zhì)或者本身材質(zhì)不均勻,可能會(huì)導(dǎo)致刀片磨損不均勻而破損,從而導(dǎo)致崩邊的產(chǎn)生,甚至導(dǎo)致整個(gè)芯片無法使用,因此劃片機(jī)的刀片的平整度要求極高。
嘉準(zhǔn)傳感科技(湖南)有限公司的U型光纖FFTLU-2610是專為半導(dǎo)體行業(yè)劃片機(jī)設(shè)計(jì)的創(chuàng)新性解決方案。主要是檢測(cè)劃片機(jī)的刀片的平整度,通過其卓越的檢測(cè)精度,可達(dá)到0.001mm的精準(zhǔn)度,即使是細(xì)如發(fā)絲的刀片缺口也能被精確檢測(cè)。搭配放大器FF-401響應(yīng)速度可達(dá)50us,滿足劃片機(jī)刀片高效穩(wěn)定的產(chǎn)出。
01
高精度檢測(cè)能力
FFTLU-2610光纖具有獨(dú)特的U型結(jié)構(gòu),可以實(shí)現(xiàn)極高的檢測(cè)精度。其檢測(cè)精度可達(dá)到0.001毫米,即使是細(xì)如發(fā)絲的缺口也能被精確檢測(cè)。這使得半導(dǎo)體劃片機(jī)不會(huì)因切割的刀具存在缺口而損害整個(gè)產(chǎn)品,及時(shí)檢測(cè)到切割的刀具中微小的缺陷,并及時(shí)進(jìn)行處理。
02
快速響應(yīng)和高效生產(chǎn)
FFTLU-2610光纖具有快速響應(yīng)的特點(diǎn),搭配放大器FF-401可達(dá)響應(yīng)速度50us,迅速捕捉到切割的刀具是否有磨損,損壞。這意味著在劃片過程中,即使出現(xiàn)微小的缺陷,也能及時(shí)發(fā)出警報(bào)并停止劃片,以避免進(jìn)一步的損壞。這種快速響應(yīng)能力可以大大提高生產(chǎn)效率,減少生產(chǎn)過程中的停機(jī)時(shí)間。
03
穩(wěn)定可靠的性能
FFTLU-2610光纖外殼采用304不銹鋼材質(zhì),堅(jiān)固耐用,具有耐酸堿耐腐蝕特性,能夠在各種復(fù)雜的工作環(huán)境下保持高精度的檢測(cè)性能,不受外部干擾的影響。這種穩(wěn)定可靠的性能使得半導(dǎo)體劃片機(jī)能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,并保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性。
審核編輯:劉清
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