RFID（RadioFrequencyIdentification），又稱無(wú)線射頻識(shí)別技術(shù)，可通過(guò)射頻信號(hào)進(jìn)行非接觸式的識(shí)別目標(biāo)，近些年來(lái)被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造業(yè)中，用于半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓存儲(chǔ)柜、電子貨架、硅晶片清洗、半導(dǎo)體天車(chē)等的識(shí)別與管理當(dāng)中。

在半導(dǎo)體制造業(yè)中，RFID技術(shù)為CST材料搬運(yùn)AGV小車(chē)的運(yùn)行提供了強(qiáng)有力的支持。通過(guò)在AGV小車(chē)上安裝半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料、設(shè)備以等的快速、準(zhǔn)確識(shí)別和跟蹤。

將半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器JY-V640安裝在工藝搬運(yùn)設(shè)備AGV上，用于讀取信息；在CST晶圓盒上安裝TI Tag標(biāo)簽，標(biāo)簽內(nèi)錄入CST晶圓盒材料的信息。在工藝設(shè)備AGV搬運(yùn)CST時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器會(huì)通過(guò)無(wú)線射頻信號(hào)識(shí)別CST晶圓盒上的TI Tag標(biāo)簽信息，獲取所運(yùn)輸CST晶圓盒的信息，并根據(jù)TI Tag標(biāo)簽信息中CST晶圓盒材料的種類將其運(yùn)輸?shù)綄?duì)應(yīng)的目的地，同時(shí)記錄下此次運(yùn)輸?shù)臅r(shí)間，并將運(yùn)輸時(shí)間、CST晶圓盒種類、運(yùn)輸目的等信息上傳到管理系統(tǒng)中，系統(tǒng)根據(jù)CST晶圓盒信息對(duì)進(jìn)行生產(chǎn)計(jì)劃庫(kù)存管理，實(shí)現(xiàn)運(yùn)輸過(guò)程中的自動(dòng)化和智能化。

同時(shí)，RFID技術(shù)還可以用于對(duì)工藝設(shè)備AGV搬運(yùn)的CST晶圓盒材料進(jìn)行追蹤和管理，通過(guò)附著在CST晶圓盒材料上的RFID標(biāo)簽，可以輕松地追蹤C(jī)ST晶圓盒材料的位置和狀態(tài)，從而更好地管理整個(gè)生產(chǎn)流程。

審核編輯 黃宇