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12月11日消息，自去年10月美國出臺對華半導(dǎo)體限制新規(guī)之后，今年日本和荷蘭也相繼跟進(jìn)限制了先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備的對華出口。但是，這也給其他尚未出臺類似限制政策的國家的半導(dǎo)體設(shè)備廠商帶來了新的機(jī)會，畢竟中國大陸目前仍是全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場。

據(jù)DigiTimes報道，韓國光學(xué)晶圓檢測設(shè)備制造商N(yùn)extin近期已經(jīng)與一家未公開的中國客戶簽署了一家價值為70億韓元（約合539萬美元）的采購協(xié)議，購買了其一臺型號為 Aegis-3 的檢測設(shè)備。據(jù)稱，該設(shè)備的檢測速度比上一代的 Aegis-2 快了 30%，計算性能為 1.47 TFLOPS。

Nextin代表Park Tae-hoon表示：“第三代Aegis設(shè)備將被運(yùn)送到中國委托工廠和存儲器企業(yè)。預(yù)計部分第二代Aegis設(shè)備的訂購顧客將要求升級為第三代設(shè)備?！?/p>

上個月的信息還顯示，得益于美日荷對華半導(dǎo)體設(shè)備的出口限制，Nextin已經(jīng)向兩家中國大陸芯片制造商供應(yīng)了數(shù)臺型號為 Aegis-2 的檢測設(shè)備，交易的總價值約為 200 億韓元。

可以說來自中國市場的旺盛需求，推動了Nextin業(yè)績的快速增長。財報數(shù)據(jù)也顯示，Nextin今年第三季度，Nextin收入為 423 億韓元，營業(yè)利潤為 234 億韓元，分別比上年增長 180% 和 230%，營業(yè)利潤率也高達(dá) 51.6%。Nextin在此前的采訪中也指出，預(yù)計其今年來自中國大陸的收入將比 2021 年翻一番，占公司收入的 70% 左右。并且，中國銷售額的增長幫助 Nextin 目前積累了價值 1200 億韓元的訂單。

為了進(jìn)一步開拓中國市場，今年8月25日，Nexting公司還與無錫高新區(qū)、無錫市產(chǎn)業(yè)集團(tuán)簽約合作，宣布投資2億美元在無錫建半導(dǎo)體高端檢測量測裝備生產(chǎn)研發(fā)基地，將專注半導(dǎo)體晶圓和半導(dǎo)體硅片高端檢測、量測裝備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，并計劃設(shè)立技術(shù)研發(fā)中心、形成自有知識產(chǎn)權(quán)，提高產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈韌性和安全水平。

資料顯示，韓國Nextin公司成立于2010年，已于2020年在韓國上市，是韓國一家集成電路和顯示面板失效檢測和量測設(shè)備的供應(yīng)商，總部位于韓國京畿，也在以色列設(shè)有研發(fā)中心，行業(yè)競爭對手包括美國科磊（KLA）、日本日立等公司，應(yīng)用領(lǐng)域涉及存儲芯片、邏輯芯片等，主要客戶包括三星電子、SK海力士、福建晉華、長鑫存儲、中芯國際、長江存儲等。

據(jù)了解，從技術(shù)路線原理上看，半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備主要包括光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)和 X 光量測技術(shù)，其中光學(xué)檢測技術(shù)空間占比較大。根據(jù) VLSI Research和 QY Research 的報告，2020 年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場中，應(yīng)用光學(xué)檢測技術(shù)、電子束檢測技術(shù)及 X光量測技術(shù)的設(shè)備市場份額占比分別為 75.2%、18.7%及 2.2%。需要指出的是光學(xué)檢測工具比電子束檢測及 X光量測設(shè)備速度更快。

半導(dǎo)體光學(xué)檢測設(shè)備旨在使用明場（通過反射光獲取圖像）和/或暗場（使用散射光進(jìn)行檢測）模式快速檢測晶圓上的問題。Nextin 的 Aegis系列檢測設(shè)備基于其創(chuàng)新的2-D成像技術(shù)及及其獲得專利的雙鏡焦平面組裝技術(shù)，可以在明場和暗場照明同步進(jìn)行高靈敏度、高速度地檢測 200 毫米或300 毫米晶圓。其中，基于明場法可以發(fā)現(xiàn)小至 15nm 的缺陷，依靠散射光的暗場方法可以檢測 30nm 的缺陷。Aegis系列檢測設(shè)不僅可以檢測橋接、減薄、突出和底腳等圖案缺陷，還可以檢測所有半導(dǎo)體制造工序中薄膜、圖案生成、平坦化、離子注入和清潔過程中的劃痕和顆粒，從而獲得卓越的晶圓質(zhì)量，為客戶帶來投資回報。

雖然Nextin 的 Aegis系列設(shè)備的分辨率可能并不那么令人印象深刻，但缺陷不必像晶體管特征尺寸那么小也會影響設(shè)備的功能。尺寸為 15nm的缺陷仍然會嚴(yán)重破壞或損害14nm或7nm制程工藝節(jié)點(diǎn)中結(jié)構(gòu)的運(yùn)行，因此檢測也是至關(guān)重要。

目前在半導(dǎo)體檢測設(shè)備是前道設(shè)備國產(chǎn)化率最低的環(huán)節(jié)之一。根據(jù)VLSI Research的數(shù)據(jù)顯示，在體檢測設(shè)備市場，主要被科磊（KLA）、應(yīng)用材料、日立等國外廠商所占據(jù)，他們的市場份額分別為 54.8%、9.0%和 7.1%。

根據(jù)東吳證券研究所測算，國產(chǎn)半導(dǎo)體檢測設(shè)備廠商中科飛測、上海精測、上海睿勵三家企業(yè) 2022 年銷售收入合計約為 7.46 億元，對應(yīng)中國大陸市場份額不足 3%。若以批量公開招標(biāo)的華虹無錫為統(tǒng)計樣本，據(jù)不完全統(tǒng)計，2022 年華虹無錫完成量/檢測設(shè)備招標(biāo) 47 臺，其中國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo) 1 臺，國產(chǎn)化率僅 2%，遠(yuǎn)低于去膠機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等環(huán)節(jié)。

不過，目前在國內(nèi)自主可控的趨勢之下，本土檢測設(shè)備企業(yè)的技術(shù)也快速推進(jìn)。目前中科飛測多款產(chǎn)品已通過 28nm 產(chǎn)線驗(yàn)收，2Xnm產(chǎn)線設(shè)備正在驗(yàn)證，1Xnm 產(chǎn)線設(shè)備正在研發(fā)。此外，上海精測電子束檢測設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入 1Xnm 驗(yàn)證，上海睿勵自主研發(fā)的光學(xué)薄膜量測設(shè)備也已進(jìn)入 14nm 產(chǎn)線驗(yàn)證。

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審核編輯 黃宇