據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，蘇州光舵微納科技股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：光舵微納）完成由國(guó)投創(chuàng)合投資的近億元B+輪股權(quán)融資。

作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的納米壓印技術(shù)完整方案提供商，光舵微納經(jīng)過(guò)多年的研發(fā)及市場(chǎng)應(yīng)用推廣，制造出了多款研發(fā)型納米壓印設(shè)備及全自動(dòng)量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了設(shè)備、耗材及工藝的全方位突破。

發(fā)明于上世紀(jì)90年代中期的納米壓?。∟ano Imprint Lithography，NIL）技術(shù)是利用機(jī)械模具微復(fù)型原理在基板上制備微納結(jié)構(gòu)的技術(shù)。該技術(shù)克服了光刻技術(shù)中由于衍射導(dǎo)致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的優(yōu)點(diǎn)，可應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED照明、平板顯示、生物技術(shù)、太陽(yáng)能電池、光學(xué)等領(lǐng)域。納米壓印技術(shù)是微納加工領(lǐng)域的一項(xiàng)關(guān)鍵底層技術(shù)，在國(guó)際半導(dǎo)體藍(lán)圖（ITRS）中，該技術(shù)被列為下一代半導(dǎo)體加工技術(shù)的重要代表之一。

光舵微納在LED圖形化襯底產(chǎn)業(yè)（LED-PSS）處于絕對(duì)的技術(shù)及市場(chǎng)領(lǐng)先地位，納米壓印設(shè)備及耗材已在客戶端實(shí)現(xiàn)超過(guò)4000萬(wàn)片LED-PSS的大規(guī)模穩(wěn)定量產(chǎn)，在此應(yīng)用場(chǎng)景上實(shí)現(xiàn)了對(duì)尼康光刻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化替代，并處于快速擴(kuò)張階段。

光舵微納同時(shí)積極拓展納米壓印技術(shù)在高端半導(dǎo)體、AR衍射光波導(dǎo)、生物檢測(cè)器件、消費(fèi)電子等諸多重大領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，并取得了重要進(jìn)展。

此次融資完成后，光舵微納將繼續(xù)提升其核心研發(fā)團(tuán)隊(duì)的技術(shù)實(shí)力，積極研發(fā)應(yīng)用于多個(gè)重要場(chǎng)景的高端納米壓印設(shè)備并進(jìn)行廣泛的市場(chǎng)開(kāi)拓，進(jìn)行產(chǎn)線擴(kuò)充，推進(jìn)納米壓印技術(shù)在更多應(yīng)用領(lǐng)域的導(dǎo)入，打造從產(chǎn)品、系統(tǒng)到整體解決方案的商業(yè)模式，助力我國(guó)半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展。

審核編輯：劉清