近期，位于北京市的北方華創(chuàng)微電子智能裝備有限公司榮獲了一項名為“半導體設備的加熱器及半導體設備”的專利，其授權公告號為CN113604786B，并將于2024年5月17日正式生效。該項發(fā)明的申請日期定格在2021年7月6日。

這項申請致力于提供一種半導體設備的新型加熱器及其適用范圍，包括了加熱盤和第一冷卻元件兩個關鍵部件。其中，加熱盤被設計成可放置在半導體設備的腔體內，其底部設有開口，使第一空腔能夠與外部空氣進行流通。而第一冷卻元件則被固定在第一空腔內部，負責將冷卻氣體導入至第一空腔內。這種加熱器在半導體設備的生產過程中，能有效保持加熱盤的溫度穩(wěn)定性。