位于蚌埠龍子湖畔的中國傳感谷，正聚力打造千億級(jí)智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)業(yè)集群，一群懷揣夢(mèng)想、求真務(wù)實(shí)的科技工作者正奮戰(zhàn)在科研戰(zhàn)場(chǎng)，積極推動(dòng)我市智能傳感器產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。朱小燕就是其中的一位。

近日，中國兵器工業(yè)第二一四研究所里，一身工作服的朱小燕才從車間出來，匆忙扒了一口飯，腦子里還在想著剛剛的測(cè)試數(shù)據(jù)。

傳感器是人工智能硬件設(shè)施里的“神經(jīng)元”，也是物聯(lián)網(wǎng)最重要的“元器件”之一，是培育和發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的重要基礎(chǔ)性器件。通過它，能讓人與物“對(duì)話”、物與物“互通”，實(shí)現(xiàn)“萬物互聯(lián)”。

工作中的朱小燕。

多年來，朱小燕一直工作在國產(chǎn)智能傳感器及集成電路研制第一線，與團(tuán)隊(duì)一起不斷探索、精益求精，自主研發(fā)的產(chǎn)品多次打破了國外技術(shù)封鎖，參與研制的某低噪聲放大電路，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，目前已批量應(yīng)用。

作為中國三大傳感器研發(fā)制造基地之一的蚌埠，是全省唯一、全國為數(shù)不多的同時(shí)擁有集成電路及MEMS晶圓生產(chǎn)線的城市。“蚌埠產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)好、起步早、發(fā)展快，我也趕上了好時(shí)代。”朱小燕告訴記者，2012年，她研究生畢業(yè)后，就進(jìn)入中國兵器工業(yè)第二一四研究所從事半導(dǎo)體工藝及PCM測(cè)試技術(shù)研究。

為應(yīng)對(duì)復(fù)雜嚴(yán)峻的國際形勢(shì)，2014年起，在中國兵器工業(yè)集團(tuán)和蚌埠市政府的大力支持下，中國兵器工業(yè)第二一四研究所開始在蚌埠建設(shè)6英寸半導(dǎo)體集成電路工藝線。

朱小燕作為核心技術(shù)骨干，被任命為測(cè)試工藝班組長(zhǎng)，負(fù)責(zé)PCM及在線測(cè)試設(shè)備的論證選型、安裝調(diào)試、驗(yàn)收及使用維護(hù)，同時(shí)承擔(dān)測(cè)試程序開發(fā)、測(cè)試方法與規(guī)范建立、測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定等各種工作。

“摸石頭過河，反復(fù)嘗試摸索?！敝煨⊙嗾f，由于是首次建設(shè)6英寸工藝線，他們遇到了許多問題，也沒有經(jīng)驗(yàn)可借鑒。為加速6英寸半導(dǎo)體工藝線建設(shè)，降低運(yùn)行成本，搶抓半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的歷史機(jī)遇，她和團(tuán)隊(duì)的同事們天天加班加點(diǎn)、查閱文獻(xiàn)資料、咨詢?cè)O(shè)備廠家、請(qǐng)教同行經(jīng)驗(yàn)、學(xué)習(xí)先進(jìn)技術(shù)、探究測(cè)試原理。

通過堅(jiān)持不懈的努力，她帶領(lǐng)班組按時(shí)完成近20臺(tái)測(cè)試設(shè)備的安裝調(diào)試與驗(yàn)收，編寫形成各型號(hào)測(cè)試設(shè)備規(guī)程10份、各類電路PCM測(cè)試規(guī)范22份、在線工藝檢測(cè)規(guī)范3份……

功夫不負(fù)有心人，在朱小燕及班組人員的共同努力下，2016年，PCM及在線測(cè)試工藝模塊建立，具備PCM及在線測(cè)試能力，保障了6英寸半導(dǎo)體集成電路工藝線的順利運(yùn)行。

近年來，蚌埠緊抓機(jī)遇，加快培育和發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，把智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群作為全市重點(diǎn)打造的五大產(chǎn)業(yè)集群之一，依托中國兵器工業(yè)第二一四研究所等大院大所和龍頭企業(yè)，建成國家級(jí)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)國家地方聯(lián)合工程實(shí)驗(yàn)室和“安徽省智能傳感器創(chuàng)新中心”等，聚力打造中國傳感谷，推動(dòng)要素集聚，加快平臺(tái)建設(shè)，著力構(gòu)建產(chǎn)業(yè)鏈、形成產(chǎn)業(yè)集群、打造產(chǎn)業(yè)生態(tài)，在全國智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展中走在前列。

在高端放大器電路領(lǐng)域，我國曾長(zhǎng)期依賴進(jìn)口，國內(nèi)鮮有全自主研制。朱小燕和團(tuán)隊(duì)成員一起，不畏艱難，勇挑重?fù)?dān)，承擔(dān)起兩款高性能放大器電路研制工作。

近年來，基于蚌埠6英寸半導(dǎo)體工藝線，朱小燕和團(tuán)隊(duì)自主開發(fā)器件結(jié)構(gòu)、工藝技術(shù)、測(cè)試方法，大膽假設(shè)，小心求證，不斷迭代試驗(yàn)，經(jīng)過三年技術(shù)攻關(guān)，突破了參數(shù)一致性差、溫度漂移大等高性能放大器研制中的一系列“卡脖子”問題，將該放大器的電路精度大幅提升，電路性能指標(biāo)達(dá)到國外對(duì)標(biāo)產(chǎn)品水平。

在某圖像傳感器研制項(xiàng)目中，朱小燕通過千萬次的測(cè)試與調(diào)試，不僅評(píng)估了器件性能，而且能夠定位器件的缺陷位置及種類，為器件優(yōu)化設(shè)計(jì)和工藝改進(jìn)提供重要數(shù)據(jù)來源。目前，該圖像傳感器及工藝技術(shù)，處于國際領(lǐng)先水平，打破了國外技術(shù)封鎖。同時(shí)，她參與研制的某低噪聲放大電路，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

她還帶領(lǐng)班組簽訂“師帶徒”協(xié)議，把自己學(xué)到的先進(jìn)技術(shù)毫無保留地分享給同事，和同事們共同提高、共同進(jìn)步。

近年來，朱小燕參與國家級(jí)和省部級(jí)重點(diǎn)科研項(xiàng)目20余項(xiàng)，獲得專利授權(quán)4項(xiàng)，國防科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)、蚌埠市“三八紅旗手”……一路披荊斬棘，成為技術(shù)尖兵，綻放光芒。

“科研就像跑馬拉松，大家一起堅(jiān)定信心、一起跑，才能迎來最終勝利。”朱小燕說，智能傳感器的星辰大海，是她值得投入全部精力去探索奮斗的畢生事業(yè)。

審核編輯 黃宇