圖1. 濱松LCOS-SLM在激光加工的應(yīng)用方案

隨著激光加工技術(shù)的不斷發(fā)展，超快激光加工已經(jīng)成為激光精密加工中最為重要的一部分，被廣泛應(yīng)用到微電子器件，超表面結(jié)構(gòu)，微流體，半導(dǎo)體等領(lǐng)域。傳統(tǒng)的單點(diǎn)聚焦加工方式，存在加工區(qū)域小，效率低等問(wèn)題，限制了很多精密加工應(yīng)用，而空間光調(diào)制器可以為這些問(wèn)題提供有效的解決方案。

空間光調(diào)制器可以對(duì)激光光束的振幅、相位或者偏振等光學(xué)參數(shù)進(jìn)行調(diào)控，配合合理的光路設(shè)計(jì)，在材料加工區(qū)域得到任意的光場(chǎng)分布，例如多焦點(diǎn)并行加工、像差及球差校正和三維光場(chǎng)調(diào)控等，從而提高超快激光微加工的精度和效率。

濱松一直致力于LCOS-SLM的研發(fā)和創(chuàng)新。濱松的LCOS-SLM具有線性度好、相位穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn)，其極高的損傷閾值一直處于市場(chǎng)遙遙領(lǐng)先地位，而且已經(jīng)在激光加工領(lǐng)域被廣泛批量應(yīng)用驗(yàn)證。

圖2. 濱松LCOS-SLM X15213系列產(chǎn)品

LCOS-SLM在超快激光加工中的應(yīng)用效果，不僅于LCOS-SLM的自身參數(shù)相關(guān)，也與光路設(shè)計(jì)以及算法息息相關(guān)。但是對(duì)于很多用戶來(lái)說(shuō)，算法設(shè)計(jì)有一定難度，算法設(shè)計(jì)需要豐富的光學(xué)，數(shù)學(xué)，軟件，激光工藝等經(jīng)驗(yàn)。濱松工程師團(tuán)隊(duì)對(duì)SLM的算法進(jìn)行細(xì)致的優(yōu)化和升級(jí)，給出了一系列的算法解決方案，來(lái)幫助工業(yè)用戶更靈活，更快速的上手使用濱松的LCOS-SLM。

圖3. 濱松提供的免費(fèi)和收費(fèi)算法

圖4. 濱松算法軟件

圖4是濱松工程師開(kāi)發(fā)的算法軟件，用戶只用輸入需要目標(biāo)圖像的參數(shù)，就可以自動(dòng)生成相位圖，然后把相位圖導(dǎo)入到濱松SLM的控制軟件即可使用，而不用學(xué)習(xí)研究復(fù)雜的光學(xué)算法來(lái)計(jì)算相位圖。

審核編輯 黃宇