項目背景

在晶圓制造與分選環(huán)節(jié)中，晶圓需精準(zhǔn)放置于圓盤凹槽內(nèi)。一旦發(fā)生“搭邊”（即晶圓邊緣與凹槽接觸或超出槽位），可能導(dǎo)致晶圓在旋轉(zhuǎn)時飛出或機(jī)械手取放偏移，進(jìn)而影響生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

傳統(tǒng)檢測手段因回光弱、縫隙干擾等問題難以精準(zhǔn)識別晶圓搭邊狀態(tài)。針對這一難題，深視智能SCI系列光譜共焦位移傳感器憑借33kHz超高速采樣、自研超強(qiáng)感光算法及高兼容性設(shè)計，突破了動態(tài)輪廓捕捉與微弱信號解析的技術(shù)瓶頸，可穩(wěn)定獲取晶圓槽真實輪廓數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造提供了高可靠性的精密檢測工具。

檢測需求

被測物體

晶圓

工件尺寸

8寸/16寸

測量項目

晶圓搭邊

通訊方式

網(wǎng)口

案例分享

深視智能光譜共焦位移傳感器具有廣泛的適應(yīng)性和兼容性。它采用自研超強(qiáng)感光算法搭配超亮光源，不受反射光光強(qiáng)的影響，對高反光、低反射率曲面、弧形等材料和表面特性的晶圓都具有良好的檢測效果，解決傳統(tǒng)方法中回光較少和無效值的問題。

圖 |晶圓搭邊檢測

深視智能SCI10015光譜共焦位移傳感器擁有33kHz的采樣頻率，±15°回光角度，微米級光斑直徑，能夠快速穩(wěn)定捕捉圓盤旋轉(zhuǎn)中的晶圓邊緣輪廓，確保微米級位移變化被完整記錄，避免漏檢高速運(yùn)動導(dǎo)致的搭邊風(fēng)險。

深視智能SCI10015光譜共焦位移傳感器分辨率0.0012μm，測量范圍10mm，擁有40.3μm寬點(diǎn)光斑和19.2μm小點(diǎn)光斑，能夠適應(yīng)不同的晶圓尺寸，無論是8寸還是16寸晶圓，都能準(zhǔn)確進(jìn)行檢測。

在通訊方式上，深視智能SCI系列光譜共焦位移傳感器支持以太網(wǎng)、模擬量、開關(guān)量、RS232等數(shù)據(jù)傳輸接口，確保了數(shù)據(jù)傳輸?shù)姆€(wěn)定性和可靠性。這使得傳感器能夠與現(xiàn)有的自動化系統(tǒng)無縫集成，方便快捷地將檢測數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂?a target="_blank">中心，實現(xiàn)對生產(chǎn)過程的實時監(jiān)控和管理。

深視智能傳感器推薦

深視智能SCI系列光譜共焦位移傳感器在晶圓搭邊測試中的應(yīng)用，不僅解決了傳統(tǒng)檢測方法的難題，還為半導(dǎo)體制造行業(yè)帶來了更高的生產(chǎn)效率和更可靠的產(chǎn)品質(zhì)量。

隨著技術(shù)的不斷發(fā)展和應(yīng)用的深入，相信SCI系列傳感器將在更多的領(lǐng)域發(fā)揮其獨(dú)特的優(yōu)勢，為智能制造提供更強(qiáng)大的支持。