當(dāng)協(xié)作機器人需要執(zhí)行微米級的精密任務(wù)時，一個隱形挑戰(zhàn)浮出水面：如何確保其核心動力單元DD馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)精度達(dá)到角秒級？答案藏在一束激光的干涉條紋之中。

解決方案：

SJ6000激光干涉儀+角度反射鏡組+WR50自動精密轉(zhuǎn)臺，測量精度：±1″；分辨力：0.01″。

DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)角度測量示意圖

測量流程：

將WR50自動精密轉(zhuǎn)臺固定在馬達(dá)軸心，其頂部反設(shè)鏡可相對基座反向旋轉(zhuǎn)，反射鏡始終與激光束角度鎖定在0.5度內(nèi)，轉(zhuǎn)臺每旋轉(zhuǎn)5°，反射鏡即反向旋轉(zhuǎn)5°，此時軟件將WR50的精密圓光柵角度值和SJ6000的角度值進行合并計算，得出馬達(dá)實際轉(zhuǎn)動的角度。

激光干涉儀測量結(jié)束后自動進行補償，確保DD馬達(dá)旋轉(zhuǎn)精度符合要求。

補償前數(shù)據(jù)

補償后數(shù)據(jù)

從汽車工廠的裝配線到無塵室里的芯片制造，協(xié)作機器人正以人類般的靈巧重塑產(chǎn)業(yè)。而在這背后，是以激光干涉儀為代表的精密測量儀器的默默守護，為協(xié)作機器人的安全高效精準(zhǔn)運行保駕護航。