很多人以為穿透式電子顯微鏡ＴＥＭ就是倍率比較高的掃描式電子顯微鏡ＳＥＭ，但其實ＴＥＭ擁有許多強大的應(yīng)用，是科技業(yè)不可或缺的研發(fā)檢測工具。

TEM可提供以下幾種模式影像及成分分析:

?TEM Bright Field (BF明場像)/

Dark field (DF暗場像)/

High Resolution Image (HREM高解析影像)

?STEM Bright Field/ High Angle Annual Dark Field (HAADF) Image

?EDS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum

?Selective Area Diffraction (SAD)

?Nano Beam Diffraction (NBD)

?EELS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum (2026Q1推出)

季豐電子擁有非常完善的TEM設(shè)備，將會依客戶的需求提供有針對性的分析方法，若有需求可與我們聯(lián)絡(luò)。

今天主要介紹由同一個樣品呈現(xiàn)STEM的三種模式及 EDX Mapping給大家參考。

STEM是將電子束聚焦在一個點上，由多個點連成線，由線連成面的掃描方式進行，STEM模式最常用的三種模式是HAADF/BF/DF。

HAADF

HAADF(高角度環(huán)形暗場像)是掃描透射電子顯微鏡(STEM)模式下的一種成像技術(shù)，通過收集高角度散射電子形成原子序數(shù)(Z)依賴的襯度像。

因此，較重的元素產(chǎn)生較強的信號，從而產(chǎn)生更亮的對比度。相反，較輕的元素導(dǎo)致較暗的對比度。ZC(原子序數(shù)對比度)是其應(yīng)用之一。

BF

BF圖像由質(zhì)量厚度和衍射襯度組成，而放置在后焦明面的物鏡光圈僅允許直射光束通過。而圖像中可以看到具有暗對比度的結(jié)晶晶相，和HAADF像的襯度基本相反。

DF

DF是一種重要的透射電子顯微鏡(TEM)工作模式，通過選擇性收集散射電子束形成圖像，這種圖像可用于量測晶粒尺寸和缺陷，例如錯位、堆疊層錯及孿晶。

EDX

EDX即能量色散譜儀，是一種用于材料微區(qū)成分分析的儀器，通過檢測特征X射線的能量和強度，實現(xiàn)元素種類與含量的定性和定量分析。它常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)聯(lián)用，在納米至微米尺度上進行成分表征。

該技術(shù)在檢測較重原子方面更為有效，配備尺寸小于5納米的TEM EDX電子光束，仍可以分析較輕的原子。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域，深耕集成電路檢測相關(guān)的軟硬件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的賦能型平臺科技公司。公司業(yè)務(wù)分為四大板塊，分別為基礎(chǔ)實驗室、軟硬件開發(fā)、測試封裝和儀器設(shè)備，可為芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈和新能源領(lǐng)域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術(shù)企業(yè)、上海市“科技小巨人”、上海市企業(yè)技術(shù)中心、研發(fā)機構(gòu)、公共服務(wù)平臺等企業(yè)資質(zhì)認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設(shè)有子公司。