2分鐘壓印周期，良率將沖95%！魔飛光電如何破解光波導量產(chǎn)困局

電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/莫婷婷）9月18日，Meta發(fā)布了采用LCoS+光波導方案的AR彩色智能眼鏡 Meta Ray-Ban Display。作為AI智能眼鏡行業(yè)的風向標，Meta新一代AI眼鏡的發(fā)布將推動光波導技術(shù)邁向消費級應(yīng)用。然而，光波導量產(chǎn)仍受限于產(chǎn)能不足與成本高昂。此時，納米壓印技術(shù)憑借高效精密的特性，可實現(xiàn)高精度微納結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制造，為光波導產(chǎn)業(yè)化提供低成本解決方案。

當前國內(nèi)光波導企業(yè)云集，但量產(chǎn)瓶頸亟待突破。就在今年8月，全球領(lǐng)先的荷蘭納米壓印技術(shù)企業(yè) Morphotonics（以下簡稱“魔飛光電”）宣布成立中國分公司——魔飛光電（蘇州）有限公司，標志著這家歐洲“隱形冠軍”全面啟動中國本土化戰(zhàn)略。此舉不僅是一次簡單的市場擴張，更是一場深度嵌入中國智能硬件制造生態(tài)、推動AR光波導與新型顯示產(chǎn)業(yè)規(guī)模化落地的關(guān)鍵布局。


壓印周期縮短至2分鐘，魔飛光電納米壓印技術(shù)填補市場空白
納米壓印的核心作用是在基材表面高保真、高效率地復制納米級圖案結(jié)構(gòu)，替代或補充傳統(tǒng)光刻工藝，尤其在大面積、非集成電路領(lǐng)域具有獨特優(yōu)勢。其主要應(yīng)用包括AR/VR光學元件、顯示與照明、半導體先進封裝等領(lǐng)域。

除了魔飛光電的卷對板（Roll-to-Plate，R2P）納米壓印外，行業(yè)現(xiàn)行的納米壓印技術(shù)還包括：晶圓級納米壓印（Wafer-Level NIL）和卷對卷納米壓?。≧oll-to- Roll, R2R NIL）。

晶圓級納米壓印的基板采用標準硅晶圓，例如8/12英寸的晶圓。其特點是每片晶圓單獨處理，因此需要精準定位與重復曝光；卷對卷納米壓印則通過滾軸連續(xù)滾動的方式將光學結(jié)構(gòu)紋理從模板轉(zhuǎn)移到柔性基板上。

但上述兩種技術(shù)路徑都存在一定的技術(shù)瓶頸。晶圓級納米壓印技術(shù)最大僅支持12英寸/300mm圓形基底，難以滿足大尺寸顯示設(shè)備及部分光學器件的需求，且存在“高成本、低產(chǎn)能”的痛點。而卷對卷技術(shù)雖可連續(xù)生產(chǎn)，但無法在玻璃等剛性表面進行壓印、工藝對準精度低導致良率不足等問題。

魔飛光電創(chuàng)新的大面積卷對板納米壓印技術(shù)（Roll-to-Plate, R2P），正好融合了晶圓級納米壓印和卷對卷納米壓印兩種技術(shù)的優(yōu)勢，有效填補了市場空白。

魔飛光電全球業(yè)務(wù)發(fā)展主管Erhan Ercan介紹，通過將微納結(jié)構(gòu)高效轉(zhuǎn)印至大面積基板，魔飛光電的技術(shù)突破了傳統(tǒng)工藝的物理限制與生產(chǎn)成本瓶頸，既克服了晶圓尺寸限制，又能適配玻璃等硬質(zhì)基板，同時優(yōu)化了生產(chǎn)效率與良率，尤其在光波導應(yīng)用（如AR/VR智能眼鏡）中兼具高精度與低成本。

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魔飛光電全球業(yè)務(wù)發(fā)展主管Erhan Ercan

魔飛光電的技術(shù)在特定應(yīng)用場景中具備獨特優(yōu)勢，特別是在精度上，能夠支持在500μm至50nm尺度范圍內(nèi)精準構(gòu)筑微米/納米級結(jié)構(gòu)。Erhan舉例，該技術(shù)能實現(xiàn)極低的“殘膠層厚度”（Residual Layer Thickness，RLT），而如果能以極低的殘膠層厚度均勻復制微納結(jié)構(gòu)，將大幅提升客戶的效率，尤其是在AR智能眼鏡領(lǐng)域。

此外，大面積加工也是魔飛光電的優(yōu)勢，其技術(shù)能夠最大實現(xiàn)1.1米×1.3米的壓印面積（5 代線）。作為對比，傳統(tǒng)晶圓尺寸通常為8英寸或12英寸，也就是200mm×200mm或300mm×300mm。

魔飛光電的納米壓印技術(shù)還能兼容多種顯示技術(shù)，包括OLED、LCD、Micro LED，以及目前熱門的Mini LED。量產(chǎn)化壓印周期縮短至2分鐘以內(nèi)，實現(xiàn)更高的產(chǎn)能。

值得一提的是，除了納米壓印設(shè)備本身，魔飛光電還提供包括材料（如壓印樹脂）、工藝在內(nèi)的配套產(chǎn)品，為客戶提供一整套完整的解決方案。

良率已達93%，將推出年產(chǎn)600萬片的AR光波導設(shè)備
魔飛光電專注的兩大核心應(yīng)用場景：第一大應(yīng)用場景是先進顯示領(lǐng)域，例如裸眼3D技術(shù)、汽車抬頭顯示 HUD 等。魔飛光電的技術(shù)在該領(lǐng)域已有成熟應(yīng)用落地。第二大應(yīng)用場景是智能眼鏡的光波導領(lǐng)域。智能眼鏡是近兩年的熱門領(lǐng)域，而光波導是AR智能眼鏡中的核心技術(shù)。

魔飛光電中國區(qū)總經(jīng)理胡品指出，光波導最大問題仍是成本。光波導的生產(chǎn)流程包括母版制作、子版制作、批量納米壓印、切割等環(huán)節(jié)。

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魔飛光電中國區(qū)總經(jīng)理胡品

在高精度納米壓印方面，魔飛光電的技術(shù)可加工傾斜光柵、二元光柵甚至閃耀光柵等復雜結(jié)構(gòu)。魔飛光電獨有的柔性壓印裝置（即“軟板”工藝/柔性模板），既能確保尺寸精度，又能保證軟板的使用壽命，從某種程度上來說，這種工藝在保障產(chǎn)能與精度的同時，還降低了耗材使用成本，最終實現(xiàn)產(chǎn)能效率與成本控制的雙重優(yōu)勢。

AR光波導市場在持續(xù)進化，一方面是技術(shù)路線日益多元，涵蓋幾何光波導、全息光波導、表面浮雕光波導等細分方向。另一方面，是對新型材料的使用。當前玻璃基板的最高折射率僅能達到2.1，若要進一步增大視場角，就需要采用更高折射率的材料，例如碳化硅的折射率最高 2.6～2.7，還有鈮酸鋰（LiNbO?）等。

在這方面，魔飛光電的技術(shù)展現(xiàn)出卓越的通用性，可靈活適配玻璃、聚合物薄膜、金屬等多種基材，即便客戶采用前沿的碳化硅材料，其工藝仍能穩(wěn)定兼容，為下一代光波導制造提供強大底層支撐。

“對于大面積納米壓印技術(shù)而言，魔飛光電要解決的正是光波導生產(chǎn)中的高產(chǎn)能、高成本難題，因為傳統(tǒng)的晶圓級生產(chǎn)工藝在產(chǎn)能提升潛力及成本優(yōu)化空間方面均面臨著顯著制約。”

Erhan Ercan進一步提到，魔飛光電將推出專為AR領(lǐng)域設(shè)計的“Cypris”新設(shè)備，該設(shè)備的光波導年產(chǎn)能可突破600萬片。

目前，魔飛光電已經(jīng)推出了兩款納米壓印設(shè)備，并實現(xiàn)了全面的商業(yè)化，分別是半自動化的系統(tǒng)Portis 系列，適用于R&D場景需求，可支撐中小規(guī)模生產(chǎn)需求；以及全自動系統(tǒng)Aurora 系列，適用于大規(guī)模生產(chǎn)。兩套設(shè)備互為補充，能夠匹配客戶不同階段的發(fā)展節(jié)奏。

基于客戶真實生產(chǎn)場景反饋，采用魔飛光電現(xiàn)有納米壓印設(shè)備的產(chǎn)線在兩日內(nèi)穩(wěn)定產(chǎn)出超3000件光波導，良率達93%。Erhan 表示，魔飛光電正持續(xù)優(yōu)化工藝，目標將良率提升至95%，以全面支撐規(guī)?；桓?。為保障大批量生產(chǎn)穩(wěn)定性，良率將嚴格控制在90%以上。


成立中國分公司，賦能中國AR/VR與新型顯示產(chǎn)業(yè)高地
當下，中國正成為全球新型顯示與AR/VR產(chǎn)業(yè)的“創(chuàng)新引擎”。來自中國光學光電子行業(yè)協(xié)會液晶分會的數(shù)據(jù)顯示，2024年全球新型顯示產(chǎn)業(yè)規(guī)模達2198億美元，中國獨占半壁江山，貢獻約1080億美元。另外一組來自企查查的數(shù)據(jù)顯示，在智能眼鏡領(lǐng)域，全國相關(guān)企業(yè)已超5600家，且AI智能眼鏡產(chǎn)品迭代加速。

在中國市場，魔飛光電并非“初來乍到”。早在設(shè)立中國子公司之前，其納米壓印設(shè)備已在中國客戶產(chǎn)線中穩(wěn)定運行?！俺闪⒅袊庸?，是對‘中國落地戰(zhàn)略’的進一步強化”，胡品表示。

胡品進一步提到，“依托中國供應(yīng)鏈的獨特優(yōu)勢，我們會加強與本土上下游企業(yè)的合作，進一步發(fā)揮大面積納米壓印技術(shù)在精度與成本上的優(yōu)勢，提升生產(chǎn)效率、降低制造成本，進而助力國內(nèi)新型顯示與智能眼鏡光波導制造的普及——通過成本下降與產(chǎn)能提升，推動這些應(yīng)用領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更大規(guī)模的發(fā)展。”

如今，魔飛光電落子中國，以蘇州為支點撬動AR/VR與新型顯示產(chǎn)業(yè)變革，推動光波導等核心部件平民化，加速消費級AR眼鏡與新型顯示產(chǎn)品普及。談及未來三年的核心戰(zhàn)略，胡品表示，魔飛光電將聚焦于“降成本、提產(chǎn)能、快響應(yīng)”三大方向。