中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”，股票代碼：688012）今日于廣州市增城經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)隆重舉辦開工儀式，宣布其旗下的華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目正式開工啟動。隨著中微半導(dǎo)體設(shè)備（廣州）有限公司（以下簡稱“中微廣州”）的蓬勃發(fā)展以及廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地建設(shè)的啟動，中微公司將進(jìn)一步增強(qiáng)產(chǎn)品研發(fā)與先進(jìn)制造能力，全面深化在半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的戰(zhàn)略布局，持續(xù)鞏固其在全球高端半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。

本次活動得到了各級政府的大力支持，季華實(shí)驗(yàn)室、國家新型顯示技術(shù)創(chuàng)新中心等科研院所代表以及眾多業(yè)界合作伙伴出席活動，與中微公司管理團(tuán)隊(duì)及員工代表共同見證這一里程碑時(shí)刻。

芯屏并舉，粵啟新程，中微公司華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地總體規(guī)劃占地約130畝，此次開工建設(shè)的一期項(xiàng)目占地約50畝，預(yù)計(jì)2026年年底建成，2027年計(jì)劃投產(chǎn)?；亟ǔ珊髮⒕劢勾笃桨屣@示設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)與生產(chǎn)，并將逐步拓展至智能玻璃、板級封裝等其他新興平板微觀加工技術(shù)領(lǐng)域。隨著中微公司華南總部研發(fā)及生產(chǎn)基地的建設(shè)啟動，將為公司不斷提升研發(fā)及生產(chǎn)能力提供有力保障，也將為區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展注入強(qiáng)勁新動能。

中微公司自2004年成立以來，一直致力于開發(fā)和提供等離子體刻蝕、化學(xué)薄膜、量檢測等微觀加工所需的高端關(guān)鍵設(shè)備。公司在過去14年保持營業(yè)收入年均增長大于35 %。 在2024年比2023年年銷售增長 44.7 % 的基礎(chǔ)上，2025年上半年?duì)I業(yè)收入繼續(xù)保持高速增長，同比增長43.9 %，達(dá)到49.61億元。

公司持續(xù)加大研發(fā)力度，2025年上半年研發(fā)投入達(dá)到14.92億元，同比增長約53.70%， 研發(fā)投入占公司營業(yè)收入比例約為30.07%，遠(yuǎn)高于科創(chuàng)板上市公司的平均研發(fā)投入水平。公司目前在研項(xiàng)目涵蓋六大類設(shè)備、二十多款新產(chǎn)品的開發(fā)；在泛半導(dǎo)體微觀制造領(lǐng)域，中微公司不斷拓展產(chǎn)品布局，包括新一代TSV深硅刻蝕設(shè)備和PVD及CVD設(shè)備，大平板顯示技術(shù)，智能玻璃和玻璃基板的大平板設(shè)備領(lǐng)域所需的薄膜設(shè)備及等離子體刻蝕設(shè)備等眾多產(chǎn)品。

談及平板設(shè)備業(yè)務(wù)的發(fā)展，中微公司集團(tuán)副總裁、中微廣州公司總經(jīng)理張凱表示，廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目的啟動，彰顯了中微公司依托半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的深厚基礎(chǔ)，跨界發(fā)展、迅速開拓新興應(yīng)用領(lǐng)域的強(qiáng)大能力，同樣也體現(xiàn)了廣東各級政府創(chuàng)新的工作思路和務(wù)實(shí)的工作作風(fēng)，大大加速了中微公司產(chǎn)品研發(fā)及成功產(chǎn)業(yè)化的進(jìn)程。

活動現(xiàn)場，中微公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯博士在致辭中表示，數(shù)碼產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)和國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展的引擎，集成電路和各種微觀器件是數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的核心。目前公司的三十多種設(shè)備已經(jīng)覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的25%到30%，在今后的五到十年，公司計(jì)劃通過有機(jī)生長和外延擴(kuò)展，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的50%到60%，發(fā)展成為平臺型的集團(tuán)公司。廣州研發(fā)及生產(chǎn)基地項(xiàng)目的啟動，是中微公司深入推進(jìn)“三維發(fā)展”戰(zhàn)略的重要實(shí)踐，將為公司多元化布局和實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。希望中微廣州扎根南粵大地，持續(xù)創(chuàng)新突破，深入貫徹“五個(gè)十大”的企業(yè)文化，與粵港澳大灣區(qū)的科研機(jī)構(gòu)、高校及產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)開展更深入的合作，為半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和廣東地區(qū)的科技創(chuàng)新和經(jīng)濟(jì)建設(shè)做出卓越貢獻(xiàn)。

攀登勇者，志在巔峰。中微公司將瞄準(zhǔn)“打造世界級裝備企業(yè)”戰(zhàn)略目標(biāo)，不斷加大研發(fā)力度，持續(xù)夯實(shí)公司在高端微觀加工設(shè)備領(lǐng)域的核心競爭力，秉承“五個(gè)十大”的企業(yè)文化，即“產(chǎn)品開發(fā)十大原則”、“戰(zhàn)略銷售十大準(zhǔn)則”、“營運(yùn)管理十大章法”、“精神文化十大作風(fēng)”和“領(lǐng)導(dǎo)能力十大要點(diǎn)”，堅(jiān)持三維立體發(fā)展戰(zhàn)略，堅(jiān)持有機(jī)生長和外延擴(kuò)展的策略，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的高質(zhì)量發(fā)展，力爭盡早成為高端設(shè)備平臺化公司，在規(guī)模上和競爭力上成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司！

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細(xì)分刻蝕設(shè)備已可以覆蓋大多數(shù)刻蝕的應(yīng)用。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)和國際一線客戶，從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用。中微公司最近十年著重開發(fā)多種導(dǎo)體和半導(dǎo)體化學(xué)薄膜設(shè)備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設(shè)備，并取得了可喜的進(jìn)步。中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備早已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。此外，中微公司已全面布局光學(xué)和電子束量檢測設(shè)備，并開發(fā)多種泛半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。這些設(shè)備都是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導(dǎo)體設(shè)備客戶滿意度調(diào)查中，中微公司四次獲得總評分第三，薄膜設(shè)備四次被評為第一。