在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，從離子注入環(huán)節(jié)的精細(xì)束流控制，到薄膜沉積過(guò)程的穩(wěn)定能量供給，再到晶圓檢測(cè)階段的高壓絕緣測(cè)試，每一個(gè)核心環(huán)節(jié)均依賴(lài)高壓直流電源的“精準(zhǔn)賦能”。作為深耕高壓電源領(lǐng)域、具備軍工品質(zhì)的專(zhuān)業(yè)企業(yè)，航裕電源隆重推出HY-SL系列緊湊型高壓直流電源。該系列產(chǎn)品以覆蓋1kV-130kV電壓、10W-1200W功率的全規(guī)格矩陣，為半導(dǎo)體行業(yè)提供解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)線達(dá)成更高良率、更穩(wěn)定運(yùn)行的目標(biāo)。

1 極致緊湊設(shè)計(jì)，小體積 大能量

半導(dǎo)體設(shè)備呈現(xiàn)小型化集成的發(fā)展趨勢(shì)，傳統(tǒng)高壓電源體積龐大，常導(dǎo)致產(chǎn)線空間利用率低下。HY-SL系列以“緊湊化”作為設(shè)計(jì)核心，通過(guò)優(yōu)化電路布局與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在確保性能的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了體積的大幅縮減。

1U/2U 標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)身：10W-300W功率段機(jī)型采用1U規(guī)格，尺寸為430(W)×513(D)×43.7(H) mm；600W-1200W功率段機(jī)型為2U規(guī)格，尺寸為430(W)×500(D)×88(H)mm，可直接嵌入半導(dǎo)體設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜，無(wú)需額外預(yù)留冗余空間。即便80kV-130kV高電壓型號(hào)，深度也僅增至610mm，遠(yuǎn)優(yōu)于同電壓等級(jí)其他品牌電源的體積，能夠輕松適配半導(dǎo)體產(chǎn)線“高密度集成”的需求。

輕量化與易安裝：緊湊的結(jié)構(gòu)，不僅降低了設(shè)備搬運(yùn)與安裝的難度，還減輕了半導(dǎo)體整機(jī)設(shè)備的負(fù)重，間接提高了產(chǎn)線運(yùn)維效率，為半導(dǎo)體企業(yè)節(jié)省了寶貴的車(chē)間空間成本。

操作邏輯無(wú)縫銜接：配備液晶顯示觸摸屏，可實(shí)時(shí)回讀電壓、電流、功率數(shù)據(jù)，前面板旋鈕能夠精準(zhǔn)設(shè)定參數(shù)，輸出ON/OFF、高壓開(kāi)關(guān)等操作邏輯與進(jìn)口設(shè)備完全同步，用戶無(wú)需額外培訓(xùn)即可快速上手，降本增效。

2 筑牢半導(dǎo)體工藝“精度防線”

半導(dǎo)體設(shè)備呈現(xiàn)小型化集成的發(fā)展趨勢(shì)，傳統(tǒng)高壓電源體積龐大，常導(dǎo)致產(chǎn)線空間利用在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，電壓電流的微小波動(dòng)可能導(dǎo)致晶圓報(bào)廢。HY-SL系列在精度、穩(wěn)定性與防護(hù)方面實(shí)現(xiàn)了全方位突破，契合半導(dǎo)體工藝的嚴(yán)苛要求。

低紋波+ 強(qiáng)保護(hù)，守護(hù)半導(dǎo)體工藝安全：

標(biāo)準(zhǔn)輸出紋波低至0.1%p-p+1Vrms，選配“低紋波（LR）”功能后可降至 0.05%p-p，通過(guò)優(yōu)化濾波模塊減少高頻噪聲，完美適配半導(dǎo)體薄膜沉積等對(duì)電磁干擾敏感的工藝；0.5 小時(shí)預(yù)熱后，電壓/電流穩(wěn)定性保持100ppm/小時(shí)，溫度系數(shù)100ppm/℃，滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的穩(wěn)定需求。

電弧全方位防護(hù)：

內(nèi)置電弧滅弧、電弧計(jì)數(shù)、電弧跳閘三重功能，可在毫秒級(jí)響應(yīng)電弧故障，避免高壓擊穿對(duì)晶圓和設(shè)備造成損傷；選配“電弧跳閘（AT*）”功能后，首次電弧出現(xiàn)時(shí)即自動(dòng)關(guān)閉電源，為晶圓等高價(jià)工藝提供“零風(fēng)險(xiǎn)”保護(hù)。

3 貼合半導(dǎo)體多樣化需求

半導(dǎo)體制造各環(huán)節(jié)差異顯著，HY-SL系列通過(guò)靈活配置與兼容性設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)“一源多能”，覆蓋多類(lèi)核心場(chǎng)景。

寬域規(guī)格覆蓋：

電壓涵蓋1kV-130kV，功率覆蓋10W-1200W，適配離子束控制（低功率高精度）、電容充電（高功率穩(wěn)定輸出）、高壓絕緣測(cè)試（高電壓）等不同工藝；支持正極性（P）、負(fù)極性（N）、可逆極性（PN）輸出，無(wú)需更換設(shè)備即可完成半導(dǎo)體正反向高壓測(cè)試，提升產(chǎn)線切換效率。

通用接口與定制化：

配備26 針接線端子，支持遠(yuǎn)程電流/電壓編程（0-10V 對(duì)應(yīng)0-100% 額定輸出）、功率監(jiān)測(cè)等功能，可無(wú)縫對(duì)接半導(dǎo)體中控系統(tǒng)；提供“恒功率控制（CPC）”“浮地（FG/FGLL）”等選配功能，例如 FGLL 通過(guò)屏蔽罩捕獲泄漏電流，精準(zhǔn)測(cè)量高壓電流，避免接地干擾影響工藝，滿足半導(dǎo)體特殊場(chǎng)景需求。

3 本地服務(wù)，賦能產(chǎn)業(yè)高效運(yùn)轉(zhuǎn)

航裕電源憑借本地化研發(fā)與生產(chǎn)基地，構(gòu)建了“7×24 小時(shí)技術(shù)支持+3年質(zhì)?！钡姆?wù)體系，為高端制造消除后顧之憂：

快速響應(yīng)，減少停工損失：從設(shè)備選型、參數(shù)定制到現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試，專(zhuān)業(yè)工程師團(tuán)隊(duì)4小時(shí)內(nèi)響應(yīng)需求，對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)線緊急故障可實(shí)現(xiàn)“遠(yuǎn)程指導(dǎo)+24 小時(shí)現(xiàn)場(chǎng)支援”，售后效率是進(jìn)口品牌的3倍以上。

從“空間優(yōu)化”到“精度突破”，再到“場(chǎng)景適配”，HY-SL系列不僅實(shí)現(xiàn)了對(duì)進(jìn)口高壓電源的高效替代，更憑借“小體積 + 強(qiáng)性能”的差異化優(yōu)勢(shì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供“超越標(biāo)準(zhǔn)”的能源解決方案。

未來(lái)，航裕將持續(xù)深耕半導(dǎo)體、新能源、低壓電器等高端行業(yè)需求，以更前沿的技術(shù)、更優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，為中國(guó)高端制造業(yè)的自主升級(jí)注入強(qiáng)勁動(dòng)力！

4 產(chǎn)品選型表