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微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

3X1L_gh_f97d258 ? 來源:未知 ? 作者:工程師郭婷 ? 2018-09-04 15:47 ? 次閱讀
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1 引言

近年來,雷達(dá)研究開始引入越來越多的微波光子技術(shù)。利用微波光子技術(shù)在實(shí)現(xiàn)大帶寬的任意波形信號上表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。微波光子移相技術(shù)可以通過選擇光纖真時(shí)延遲線的長短來控制延時(shí)量,也可以用矢量和的方法實(shí)現(xiàn)微波相移,還可以借助慢光技術(shù)實(shí)現(xiàn)超過360 度的微波相移。微波光子技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)從幾十MHz 到幾GHz 的可調(diào)濾波器。全光采樣和全光模數(shù)轉(zhuǎn)換是利用鎖模激光器產(chǎn)生高重復(fù)頻率的采樣光脈沖序列,然后采樣光脈沖對模擬電信號進(jìn)行電光采樣。利用光子技術(shù)對采樣后的光脈沖進(jìn)行全光量化和編碼,最終得到與之對應(yīng)的數(shù)字信號。

2014 年,意大利比薩大學(xué)開展了 “基于光子學(xué)的全數(shù)字雷達(dá)”項(xiàng)目,該項(xiàng)目利用一個(gè)單脈沖激光產(chǎn)生可調(diào)諧雷達(dá)信號,并接收回波,避免了射頻的上、下變頻處理,確保了軟件定義方法和高分辨率。

本文從微波雷達(dá)概念出發(fā),將光生微波技術(shù)、微波光延時(shí)與移相技術(shù)、微波光子濾波技術(shù)和全光采樣量化技術(shù)引入到雷達(dá)研究中,組成射頻前端由全光完成的新體制雷達(dá)系統(tǒng)。本文對各主要技術(shù)的發(fā)展水平進(jìn)行總結(jié),分析微波光子新體制雷達(dá)研究與實(shí)現(xiàn)的可行性,展望微波光子新體制雷達(dá)的發(fā)展和應(yīng)用前景。

2 微波光子雷達(dá)構(gòu)想

微波光子新體制雷達(dá)利用微波光子技術(shù)已實(shí)現(xiàn)的成果,在傳統(tǒng)雷達(dá)的主要部件或分系統(tǒng)上,完全或部分代替原來的電學(xué)分系統(tǒng),以便充分利用微波光子技術(shù)在雷達(dá)組件的重量、體積、帶寬、抗電磁干擾等方面的優(yōu)勢,構(gòu)建性能優(yōu)越的雷達(dá)系統(tǒng)。微波光子新體制雷達(dá)的構(gòu)想與設(shè)計(jì),如圖1 所示。傳統(tǒng)雷達(dá)的發(fā)射機(jī),尤其是寬帶雷達(dá)信號的發(fā)射機(jī),需要經(jīng)過多次變頻、混頻,才能實(shí)現(xiàn)雷達(dá)信號的產(chǎn)生,再經(jīng)過功率放大后輸送到天線進(jìn)行發(fā)射。光生微波技術(shù)可以直接產(chǎn)生高頻、大帶寬的微波信號,而且無須借助外部電學(xué)器件。

微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

圖1 微波光子新體制雷達(dá)概念框圖

該微波信號根據(jù)體制需要,可以直接在光域完成功率和信號的分配與延時(shí),還可以在光域完成微波信號的移相。在進(jìn)入射頻前端之前進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,將光信號中的微波雷達(dá)信號提取出來,然后到達(dá)天線發(fā)射出去。接收時(shí),電信號進(jìn)入接收前端后,被光載波調(diào)制,在光域利用微波光子技術(shù)進(jìn)行濾波。之后進(jìn)入全光采樣量化系統(tǒng),完成微波信號的大帶寬、高頻直接采樣,避免傳統(tǒng)接收機(jī)需要經(jīng)過多次下變頻轉(zhuǎn)換的復(fù)雜節(jié)。所得到的數(shù)字信號進(jìn)入DSP 進(jìn)行處理。

3 微波光子體制雷達(dá)關(guān)鍵技術(shù)研究

3.1 光生微波技術(shù)利用微波光子技術(shù),可以非常方便地實(shí)現(xiàn)大帶寬線性調(diào)頻信號的產(chǎn)生,這是微波領(lǐng)域難以突破的技術(shù)瓶頸。2009 年美國普渡大學(xué)研究組在硅光子芯片上利用譜整形方法實(shí)現(xiàn)了載波60GHz,帶寬8GHz 的啁啾信號[2]。2011 年,***中央大學(xué)研究組利用一個(gè)主激光器和一個(gè)頻率線性掃描的從激光器進(jìn)行差頻,實(shí)現(xiàn)載波97GHz,帶寬14GHz 的啁啾信號光產(chǎn)生。2011 年,加拿大姚建平課題組利用鎖模激光器和啁啾光纖光柵,產(chǎn)生帶寬達(dá)40GHz 的啁啾信號。2013 年,清華大學(xué)的謝世鐘課題組利用飛秒脈沖激光器和一個(gè)固定頻率的連續(xù)輸出激光器的拍頻,實(shí)現(xiàn)脈沖輸出的啁啾信號,其中心頻率約為20GHz,帶寬達(dá)30GHz。實(shí)驗(yàn)結(jié)果如圖2 所示,圖2(a)為波形時(shí)域圖,圖2(b)為信號時(shí)頻分析圖。

圖2 光生微波線性調(diào)頻信號實(shí)驗(yàn)結(jié)果

2015 年,上海交通大學(xué)陳建平課題組開展了線性調(diào)頻信號光產(chǎn)生技術(shù)研究,產(chǎn)生電信號帶寬超過30GHz,時(shí)寬達(dá)到幾十ns[7]。當(dāng)然,從目前的實(shí)驗(yàn)結(jié)果來看,利用光學(xué)方法產(chǎn)生線性調(diào)頻信號時(shí)寬非常短,僅在ns 量級。

3.2 微波光子真時(shí)延遲和移相技術(shù)光控相控陣技術(shù)利用光學(xué)方法(主要基于光纖或光波導(dǎo))完成饋電。多波長延時(shí)網(wǎng)絡(luò)因?yàn)椴ㄩL數(shù)和子陣天線單元數(shù)對應(yīng),具有同時(shí)控制子陣多單元延時(shí)的功能。為了實(shí)現(xiàn)多波長延時(shí)網(wǎng)絡(luò),主要可以采用波分復(fù)用器(WDM)和光柵完成。

以色列特拉維夫大學(xué)的Moshe Tur 課題組從2005 年提出多波長、分延時(shí)的方法,采用預(yù)先制作好光纖真時(shí)延遲線和波分復(fù)用器,可以實(shí)現(xiàn)多波長的延時(shí)網(wǎng)絡(luò)。姚建平課題組在利用光纖光柵進(jìn)行光控相控陣?yán)走_(dá)方面開展研究較早也較多。2014年,上海航天電子技術(shù)研究所與上海交通大學(xué)研究了波分復(fù)用級聯(lián)光延時(shí)網(wǎng)絡(luò),利用光開關(guān)實(shí)現(xiàn)多延時(shí)的調(diào)諧。

3.3 微波光子濾波技術(shù)

微波光子學(xué)濾波器,利用由光纖以及其它光器件構(gòu)成的光信號處理器在光域內(nèi)實(shí)現(xiàn)信號濾波,代替由電學(xué)元件構(gòu)成的微波電路在電域內(nèi)實(shí)現(xiàn)信號濾波。微波信號經(jīng)過調(diào)制后經(jīng)過時(shí)域抽樣,接著被送入由光纖延遲線、光纖耦合器、光纖光柵及光放大器等組成的光學(xué)系統(tǒng)中進(jìn)行信號的加權(quán)、相加等處理。在輸出端,處理后的光信號在一個(gè)或多個(gè)光電探測器上進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,然后恢復(fù)為輸出信號So(t)。其數(shù)學(xué)過程如下:輸出電信號和輸入電信號之間的脈沖響應(yīng)可以由脈沖序列在濾波器每路間經(jīng)歷相等的延時(shí) T 來表示:

微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

其中ar 濾波器的權(quán)值系數(shù),r 表示濾波器的路數(shù)或者抽頭數(shù)。因此,對上式的脈沖響應(yīng)做傅里葉變換,就可以得到濾波器的頻率響應(yīng)為:

微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

按其抽頭數(shù)的多少可以分為有限脈沖響應(yīng)(FIR)濾波器和無限脈沖響應(yīng)(IIR)濾波器。與FIR 濾波器相對應(yīng)的另一種微波光子學(xué)濾波器就是無限脈沖響應(yīng)(IIR)濾波器,這種濾波器在式(2)所體現(xiàn)的就是M,N 都是趨近于無窮大的。

3.4 光AD 技術(shù)

光學(xué)模數(shù)轉(zhuǎn)換器一般由采樣部分與量化部分構(gòu)成。采樣部分的功能是對信號進(jìn)行采樣,并將采集的信號保持一段時(shí)間;量化部分的主要功能是內(nèi)對采集的信號在數(shù)值上進(jìn)行量化、編碼,使之成為數(shù)字信號。光學(xué)采樣保持主要是利用光時(shí)鐘的低抖動與超短的脈沖寬度來設(shè)計(jì)采樣保持電路,已有報(bào)道達(dá)到采樣速度為1.003Gs/s,11.8 比特的SFDR 精度與9.6 比特的SNR 精度。光學(xué)復(fù)制方案是利用光纖環(huán)路將采樣得到的RF 信號進(jìn)行復(fù)制,以使用低速度的電ADC 來采樣與量化。光時(shí)間拉伸方案的是通過色散的方法將光脈沖進(jìn)行展寬,由于光脈沖序列已加載了微波信號,因此后端探測到的是時(shí)域展寬的微波電信號,再進(jìn)行電子采樣與量化。

美國UCLA 的Jalali 教授的課題組在此方面的研究取得了矚目的成果,實(shí)現(xiàn)了10Ts/s 采樣率的光模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)[14]。光學(xué)量化方案利用電信號來控制激光源輸出的波長,在后端將多波長的信號進(jìn)行量化。

微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

圖3 光采樣電量化的光模數(shù)轉(zhuǎn)換器結(jié)構(gòu)圖

光學(xué)采樣ADC 是目前常見的方式。這種方式主要是采用鎖模激光器產(chǎn)生高速穩(wěn)定的光脈沖序列并作為采樣時(shí)鐘;然后利用高性能的電光調(diào)制器將微波信號加載到光脈沖的的幅度(或相位)上,經(jīng)過高速的光電轉(zhuǎn)換器將調(diào)制器后端的信號轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?;最后通過電模數(shù)轉(zhuǎn)換器進(jìn)行量化編碼,生成數(shù)字信號。圖3 為一種典型的利用鎖模激光器實(shí)現(xiàn)模擬信號光采樣的原理框圖。

在光學(xué)模數(shù)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)中,要想達(dá)到很好的性能,一方面要使用性能優(yōu)良的器件與優(yōu)化的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),另一方面也要盡可能減小光纖鏈路引入的噪聲。隨著硅基光子學(xué)技術(shù)的不斷成熟,集成是光模數(shù)轉(zhuǎn)換可行的方向。

4 微波光子部組件小型化、集成化發(fā)展動態(tài)分析

隨著硅基光子集成技術(shù)的發(fā)展,微波光子器件的集成化研究也取得了許多成果。如圖4 所示,為集成化的光電振蕩器,其尺寸僅一塊硬幣大小。圖4(左)為外觀尺寸,圖4(右)為其內(nèi)部構(gòu)造圖。而其他能夠應(yīng)用到光子集成技術(shù)的微波光子元器件也正在研究中,例如硅基光子調(diào)制器、硅基激光器、硅基光子可調(diào)延遲線等。

借助成熟的集成電路工藝可以創(chuàng)造低成本的大規(guī)模集成光路。硅基光子集成結(jié)構(gòu)對光的限制能力很強(qiáng),從而使得光子器件的尺寸能降到幾百個(gè)納米。同時(shí),光子不受電磁干擾,相比純的集成電路,電磁干擾嚴(yán)重限制了帶寬。而另一方面,光場是以指數(shù)衰減,因此相距 2-4 微米的波導(dǎo)之間的交叉干擾能小-30dB。其次,光子能提供小于1fs 的時(shí)間抖動,大約比電子低 2-3 個(gè)數(shù)量級。硅基光電集成電路在帶寬為 40Gb/s 時(shí),模數(shù)轉(zhuǎn)換器還能提供超過 8bit 的精度。

圖4 集成化的光電振蕩器

5 微波光子新體制雷達(dá)技術(shù)分析

微波光子元器件、由這些元器件組成的微波光子系統(tǒng),以及其背后的微波光子技術(shù)能否彼此“兼容”,從而搭建一部性能優(yōu)越的微波光子新體制雷達(dá),仍有待將分系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)進(jìn)行梳理。

由表1 中分析可以看出,隨著光子集成技術(shù)不斷發(fā)展、光電集成度不斷提高,微波光子器件及系統(tǒng)的成本不斷下降,為微波光子新體制雷達(dá)奠定了堅(jiān)實(shí)的礎(chǔ)。

微波光子新體制雷達(dá)的研究與發(fā)展和應(yīng)用前景

表1 微波光子技術(shù)主要指標(biāo)

結(jié)論:本文提出基于微波光子技術(shù)的新體制雷達(dá)構(gòu)想,從微波光子技術(shù)入手梳理與分析支撐微波光子技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)。通過研究微波光子雷達(dá)的分系統(tǒng)的發(fā)展水平和技術(shù)指標(biāo),論證微波光子雷達(dá)的可行性、需要解決的關(guān)鍵問題和面臨的技術(shù)障礙,為將來大帶寬、網(wǎng)絡(luò)化、數(shù)字化雷達(dá)的發(fā)展提供參考。

國內(nèi)相關(guān)成果和報(bào)道:

中國科學(xué)院電子學(xué)研究所成功研制出國內(nèi)第一臺基于微波光子技術(shù)的雷達(dá)樣機(jī),并進(jìn)行了外場非合作目標(biāo)的逆合成孔徑成像測試,獲得了國內(nèi)第一幅微波光子雷達(dá)成像圖樣,推動了新技術(shù)新體制雷達(dá)研究的發(fā)展。首部微波光子雷達(dá)采用雙站雷達(dá)體制和光子架構(gòu),在發(fā)射機(jī)和接收機(jī)的射頻前端分別引入雷達(dá)信號微波光子產(chǎn)生和去調(diào)頻接收技術(shù),能夠支持寬帶工作,具有提升距離向分辨率的潛力。外場獲得的圖像分辨率比已知報(bào)道的國際同類微波光子雷達(dá)提高一個(gè)數(shù)量級,圖像清晰度也有明顯提升。

微波光子雷達(dá)研究是結(jié)合了微波光子技術(shù)和雷達(dá)技術(shù)的一個(gè)多學(xué)科交叉領(lǐng)域,是電子所面向新技術(shù)新體制雷達(dá)研究的重點(diǎn)培育方向之一。微波光子雷達(dá)的研究,依托于電子所一室,得到了中科院科技創(chuàng)新重點(diǎn)部署項(xiàng)目、中科院率先行動計(jì)劃、微波光子成像雷達(dá)技術(shù)驗(yàn)證測試平臺修購項(xiàng)目的支持;同時(shí)電子所引進(jìn)具有微波光子學(xué)背景的海外青年千人研究員李王哲和李若明入所開展工作,結(jié)合電子所在雷達(dá)技術(shù)方面的專業(yè)力量和研究經(jīng)驗(yàn),通過不同學(xué)科間的碰撞融合、不同專業(yè)技術(shù)人員間的交流協(xié)作,有力推動了微波光子雷達(dá)研究的發(fā)展。

從2015年下半年開始,相關(guān)專業(yè)團(tuán)隊(duì)協(xié)同創(chuàng)新,先后完成了微波光子成像雷達(dá)系統(tǒng)設(shè)計(jì)論證、寬帶雷達(dá)信號的光子產(chǎn)生和光子去調(diào)頻接收等關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān),以及相關(guān)成像算法研發(fā)。在經(jīng)過實(shí)驗(yàn)室原理驗(yàn)證、暗室點(diǎn)目標(biāo)成像實(shí)驗(yàn)和系統(tǒng)集成聯(lián)調(diào)后,最終實(shí)現(xiàn)了在外場對非合作目標(biāo)的成像測試,成功驗(yàn)證了該部微波光子雷達(dá)的可行性。研究成果已經(jīng)被國際期刊《光學(xué)快訊》(Optics Express)接收,即將發(fā)表。

在此次外場測試中,對包含波音737飛機(jī)在內(nèi)的不同機(jī)型、不同距離、不同視角下進(jìn)行了成像測試。得益于微波光子雷達(dá)架構(gòu),以及光子技術(shù)在寬帶信號產(chǎn)生、處理以及系統(tǒng)雜散抑制等方面的獨(dú)特優(yōu)勢,微波光子雷達(dá)成像圖像能夠清晰地識別目標(biāo)的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié),比如飛機(jī)發(fā)動機(jī)、尾翼以及襟翼導(dǎo)軌等結(jié)構(gòu),展示了微波光子雷達(dá)對目標(biāo)結(jié)構(gòu)特征的辨識能力,對比發(fā)表在《自然》雜志上的國外微波光子雷達(dá)系統(tǒng)所進(jìn)行的外場成像結(jié)果,如圖2所示,電子所的微波光子雷達(dá)系統(tǒng)成像結(jié)果具有明顯的改善。接下來該方向的研究工作將進(jìn)一步提升微波光子雷達(dá)成像性能,并繼續(xù)探索微波光子技術(shù)在不同體制雷達(dá)中的應(yīng)用價(jià)值。

第一部國內(nèi)微波光子雷達(dá)樣機(jī)的研制成功填補(bǔ)了國內(nèi)在該研究領(lǐng)域的空白,推動了光子技術(shù)同傳統(tǒng)的微波系統(tǒng)尤其是雷達(dá)系統(tǒng)的融合,標(biāo)志著未來的雷達(dá)技術(shù)和系統(tǒng)的新的發(fā)展階段,為未來新體制雷達(dá)系統(tǒng)的誕生奠定基礎(chǔ)。

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原文標(biāo)題:微波光子雷達(dá)關(guān)鍵技術(shù)

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    的頭像 發(fā)表于 11-24 14:43 ?334次閱讀
    激光焊接技術(shù)在焊接<b class='flag-5'>微波</b>組件殼體工藝中的應(yīng)用

    DC-DC電源模塊在數(shù)字陣列雷達(dá)的應(yīng)用方案

    數(shù)字陣列雷達(dá)是一種全新體制雷達(dá),它是由天線單元、數(shù)字陣列模塊(DAM)、參考時(shí)鐘、大容量數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)、信號處理機(jī)和顯示系統(tǒng)組成。其中DAM 是數(shù)字陣列雷達(dá)的核心,它包括分布式頻率源、
    的頭像 發(fā)表于 11-11 14:27 ?9474次閱讀
    DC-DC電源模塊在數(shù)字陣列<b class='flag-5'>雷達(dá)</b>的應(yīng)用方案

    微波雷達(dá)和毫米波雷達(dá)有什么區(qū)別

    微波雷達(dá)和毫米波雷達(dá)有什么區(qū)別 前言:不知道大家有沒有發(fā)現(xiàn),各種雷達(dá)模塊的使用開始逐漸加入各種智能家居產(chǎn)品了,像人來燈亮,人走燈滅這種雷達(dá)
    的頭像 發(fā)表于 10-30 16:56 ?2028次閱讀
    <b class='flag-5'>微波</b><b class='flag-5'>雷達(dá)</b>和毫米波<b class='flag-5'>雷達(dá)</b>有什么區(qū)別

    定華雷達(dá)儀表學(xué)堂:如何區(qū)別高頻與低頻雷達(dá)物位計(jì)性能比較?

    按發(fā)射雷達(dá)波的頻率分,可分為高頻雷達(dá)和低頻雷達(dá)。高頻雷達(dá)發(fā)射的20GHz以上的高頻微波,根據(jù)波的特性:速度=波長*頻率,我們可以得知24GH
    的頭像 發(fā)表于 10-17 15:27 ?398次閱讀

    Leadway微波產(chǎn)品有哪些應(yīng)用場景?

    毫米波工業(yè)雷達(dá)與傳感器檢測:柔性毫米波線纜的耐彎折特性(可承受10萬次以上彎折循環(huán))和輕量化設(shè)計(jì)(外徑僅1.46mm)適應(yīng)自動化設(shè)備、機(jī)器人等高頻次彎曲場景,推動工業(yè)4.0應(yīng)用發(fā)展。工業(yè)控制系統(tǒng)電源供應(yīng)
    發(fā)表于 09-26 09:14

    微波雷達(dá)模塊在智能家居中的具體應(yīng)用案例有哪些?

    ?微波雷達(dá)模塊在智能家居中的具體應(yīng)用案例有哪些? 首先我們要明確什么是微波雷達(dá)? 微波是指頻率在300MHz至300GHz之間的電磁波,其波
    的頭像 發(fā)表于 09-25 17:05 ?798次閱讀
    <b class='flag-5'>微波</b><b class='flag-5'>雷達(dá)</b>模塊在智能家居中的具體應(yīng)用案例有哪些?

    雷達(dá)遙感星座微波射頻組件抗輻照MCU的選型與實(shí)踐

    摘要: 隨著雷達(dá)遙感星座技術(shù)的不斷發(fā)展微波射頻組件作為關(guān)鍵部分,其可靠性與穩(wěn)定性面臨著來自太空輻射環(huán)境的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。本文深入探討了雷達(dá)遙感星座微波
    的頭像 發(fā)表于 07-11 14:36 ?907次閱讀

    微波雷達(dá)水位在線監(jiān)測裝置:技術(shù)解析與應(yīng)用價(jià)值

    微波雷達(dá)水位在線監(jiān)測裝置以電磁波技術(shù)為核心,通過非接觸式、高精度、全天候的測量能力,重新定義了水位監(jiān)測的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。隨著物聯(lián)網(wǎng)與人工智能技術(shù)的融合,該設(shè)備將進(jìn)一步向智能化、集成化方向發(fā)展,為水資源管理、災(zāi)害防治及工業(yè)自動化提供更高
    的頭像 發(fā)表于 06-09 17:09 ?659次閱讀
    <b class='flag-5'>微波</b><b class='flag-5'>雷達(dá)</b>水位在線監(jiān)測裝置:技術(shù)解析與應(yīng)用價(jià)值

    超高頻電子學(xué)基礎(chǔ)-369頁

    實(shí)際應(yīng)用方面,超高頻技術(shù)有著極其重要而廣闇的領(lǐng)域。除一般巳經(jīng)熟知的在通信、軍事國防上,如電視、微波多路通信與散射通信、雷達(dá)、導(dǎo)航等方面有著廣泛應(yīng)用之外,在近代其他學(xué)科的發(fā)展上,它也起著很重要的作用,如
    發(fā)表于 05-28 13:51

    2025年半導(dǎo)體制造設(shè)備市場:前景璀璨還是風(fēng)云變幻?

    在科技飛速發(fā)展的當(dāng)下,半導(dǎo)體作為現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的基石,其重要性不言而喻。而半導(dǎo)體制造設(shè)備,更是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵驅(qū)動力。步入 2025 年,半導(dǎo)體制造設(shè)備市場正站在一個(gè)充滿變數(shù)的十字路
    的頭像 發(fā)表于 05-22 15:01 ?1945次閱讀
    2025年半導(dǎo)<b class='flag-5'>體制</b>造設(shè)備市場:<b class='flag-5'>前景</b>璀璨還是風(fēng)云變幻?

    集成電路和光子集成技術(shù)的發(fā)展歷程

    本文介紹了集成電路和光子集成技術(shù)的發(fā)展歷程,并詳細(xì)介紹了鈮酸鋰光子集成技術(shù)和硅和鈮酸鋰復(fù)合薄膜技術(shù)。
    的頭像 發(fā)表于 03-12 15:21 ?1952次閱讀
    集成電路和<b class='flag-5'>光子</b>集成技術(shù)的<b class='flag-5'>發(fā)展</b>歷程