線性標(biāo)定和溫度補(bǔ)償標(biāo)定是壓力傳感器生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵步驟之一,其中線性標(biāo)定的作用是使壓力傳感器在基準(zhǔn)溫度下達(dá)到標(biāo)稱的精度指標(biāo)(包含非線性、重復(fù)性和遲滯),而通過(guò)溫補(bǔ)標(biāo)定則修正了壓力傳感器在目標(biāo)工作溫度范圍內(nèi)零點(diǎn)和滿程的漂移。

傳統(tǒng)的壓力傳感器標(biāo)定系統(tǒng)存在兩個(gè)痛點(diǎn),使得傳感器制造商無(wú)法實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線的精益生產(chǎn)目標(biāo):
單套系統(tǒng)所能覆蓋的壓力量程范圍有限,比如,為了覆蓋基于玻璃微熔壓力芯體的量程范圍700 kPa至70 MPa,可能需要三套不同量程的標(biāo)定系統(tǒng)來(lái)分別覆蓋700 kPa~2 MPa、2 MPa~10 MPa以及10 MPa~70 MPa這三個(gè)壓力量程段,介質(zhì)則為低壓氣體和高壓液體。
受限于緩慢的烘箱升、降溫速率和保溫時(shí)間要求,單次溫補(bǔ)標(biāo)定的耗時(shí)極長(zhǎng)。為了降本增效,不得不進(jìn)行大批量相同量程的標(biāo)定,面對(duì)多量程、小批量的訂單則會(huì)效率低下。
柔性化壓力傳感器生產(chǎn)標(biāo)定系統(tǒng)通過(guò)單套系統(tǒng)覆蓋寬廣的量程范圍(<100 kPa至100 MPa)以及新型的單次升降溫多量程混合標(biāo)定的方法,實(shí)現(xiàn)壓力傳感器高效率精益生產(chǎn)的目標(biāo)。
柔性化壓力傳感器生產(chǎn)標(biāo)定系統(tǒng)的核心:
福祿克6270A/8270A/8370A模塊化壓力控制器,擁有寬范圍、多量程、高精度及氣壓快速控制的特點(diǎn):
寬量程控壓,單臺(tái)控制器可覆蓋極寬的控壓范圍
6270A
-0.1 ~ 20 MPa,控壓穩(wěn)定性0.001 %FS
8270A
-0.1 ~ 40 MPa,控壓穩(wěn)定性0.002 %FS
8370A
0 ~ 100 MPa,控壓穩(wěn)定性0.002 %FS
多模塊,量程、精度、壓力類型任意組合,內(nèi)置多達(dá)5個(gè)模塊且無(wú)量程比限制
量程選擇:+/- 3.5 kPa ~ 100 MPa
壓力類型選擇:微差壓、表壓、復(fù)合壓、絕壓
精度選擇:0.01 %FS、0.007 / 0.008 %Rdg
完全模塊化設(shè)計(jì),易于產(chǎn)線維護(hù)及后續(xù)量程擴(kuò)展
一臺(tái)或兩臺(tái)模塊化控制器組合即能滿足全量程壓力傳感器的標(biāo)定,助力傳感器生產(chǎn)企業(yè)搭建低成本、高效率的柔性化傳感器標(biāo)定/溫補(bǔ)系統(tǒng)。
這里,我們以標(biāo)定精度為0.25 %FS的100 kPa、2.5 MPa和70 MPa三個(gè)量程的壓力傳感器為例,只需一套6270A+8370A組合,即能標(biāo)定上述三個(gè)量程的壓力傳感器,并且標(biāo)定系統(tǒng)的精度優(yōu)于對(duì)應(yīng)量程的0.05 %。同時(shí),通過(guò)6270A或8370A主機(jī)集成的電磁閥驅(qū)動(dòng)器控制四路電磁閥開或閉,實(shí)現(xiàn)三個(gè)量程的傳感器在烘箱的一次升降溫過(guò)程中實(shí)現(xiàn)多量程混合標(biāo)定。
1標(biāo)定100 kPa量程,四路電磁閥均打開,通過(guò)6270A自動(dòng)選擇0.1 MPa量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。

2標(biāo)定2.5 MPa量程,工裝上路電磁閥關(guān)閉,6270A使用4 MPa量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。

3標(biāo)定70 MPa量程,僅工裝下路電磁閥打開,6270A輸出端電磁閥關(guān)閉,8370A自動(dòng)切換為100 MPa量程模塊進(jìn)行控壓、穩(wěn)壓。

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原文標(biāo)題:柔性化壓力傳感器生產(chǎn)標(biāo)定系統(tǒng)
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