近年來(lái),由于PMIC、WiFi/BT組合、收發(fā)器、圖像傳感器、模擬/數(shù)字功能等智能手機(jī)功能的巨大推動(dòng)力,WLP市場(chǎng)對(duì)扇入的需求異常旺盛。目前,WLP領(lǐng)域的扇入市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從2018年的29億美元穩(wěn)步增長(zhǎng)到2024年的44億美元,CAGR為6.5%。
扇入式WLP封裝通常需要在晶圓級(jí)進(jìn)行全功能測(cè)試,然后是機(jī)械刀片切割。然而,機(jī)械刀片切割可能會(huì)導(dǎo)致前側(cè)切屑或背面切屑,這將導(dǎo)致在SMT工藝之前無(wú)法檢測(cè)到的良率問(wèn)題。此外,由于要求更薄的外形是消費(fèi)產(chǎn)品的主要發(fā)展趨勢(shì)之一,die在機(jī)械上更加易碎,這給供應(yīng)鏈參與者帶來(lái)了新的挑戰(zhàn)。
隨著薄扇入WLP die升級(jí)到大規(guī)模生產(chǎn),這一良率損失不能再不解決,因?yàn)槌杀驹絹?lái)越敏感。廠商對(duì)這種潛在的失敗非常警惕,并且已經(jīng)開(kāi)始積極地尋求解決方案。他們正在尋求改善目前的工藝,以更好的性能和提高板級(jí)的可靠性,實(shí)質(zhì)上就是為扇入WLP的die提供側(cè)壁保護(hù)。同樣重要的是,基于200毫米和300毫米的晶圓都支持扇入式WLP的生產(chǎn)。因此,無(wú)論原始晶圓的大小,這種解決方案必須能夠管理和處理die。超越扇入式WLP,扇出式封裝,能滿足所有的要求,已被評(píng)估為最佳選擇之一,并作為最終采用的技術(shù),以解決這些重大挑戰(zhàn)。
高通已與OSAT合作,通過(guò)扇出式封裝改進(jìn)PMIC側(cè)壁保護(hù)。高通公司第一次從ASE轉(zhuǎn)向Deca的扇出式封裝技術(shù)——M系列,用于處理PMIC扇入WLP die周?chē)膫?cè)壁保護(hù)。雖然它是Deca的技術(shù),但處理仍然是由ASE完成的。Deca的M系列是一種堅(jiān)固的,完全成型的扇出工藝,為晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝(WLCSP)技術(shù)提供高可靠性。在高通的PMIC案例中,Deca的M系列提供了一個(gè)4面die保護(hù),可以解決die的側(cè)壁開(kāi)裂。由于成本考慮,對(duì)背面切屑的保護(hù)是不處理的。高通的新PMIC采用了Deca的M系列技術(shù),并用于三星Galaxy S10(采用高通驍龍855),這是前所未有的。
Deca公司的M系列由于其在BLR中的可靠性和更好的裂縫和跌落測(cè)試結(jié)果等優(yōu)點(diǎn)而被高通公司選為PMIC die的封裝技術(shù)。M系列是一種芯片優(yōu)先的表面處理工藝,在焊料和die之間有一個(gè)自然增加的EMC層。這也可以看作是一個(gè)應(yīng)力緩沖層,使更大的焊錫球被放置在更好的螺距,提供顯著的更高的可靠性。此外,該工藝還優(yōu)化了M系列電磁兼容的性能,其力學(xué)性能與FC CSP中的IC基板類(lèi)似,給人以深刻的印象。
Deca這個(gè)M系列技術(shù)在商業(yè)上的勝利向其他競(jìng)爭(zhēng)技術(shù)發(fā)出了強(qiáng)烈信號(hào),造成了整個(gè)扇出供應(yīng)鏈的連鎖反應(yīng)。據(jù)了解,M系列的BLR性能比eWLB和扇入高出約3倍,并且在類(lèi)似的厚薄FC CSP范圍內(nèi)。這有四個(gè)重要的原因:首先,在WLP裸硅die中,業(yè)界已將扇出封裝作為首選技術(shù),因?yàn)榍懈顣?huì)導(dǎo)致切屑,而且更薄的尺寸標(biāo)準(zhǔn)會(huì)加劇這種情況;其次,在扇出封裝技術(shù)中,最流行的eWLB是由許多大公司,如ASE、Amkor(前Nanium)和JCET集團(tuán)(前StatsChipPAC)授權(quán)和使用的,因?yàn)樗且粋€(gè)芯片優(yōu)先的面朝下流程。這種工藝流程在die和焊料之間沒(méi)有額外的EMC層,這是提高BLR性能的有利因素;第三,雖然FC CSP在BLR性能上與M系列相當(dāng),但在移動(dòng)應(yīng)用中,趨勢(shì)是更薄,因此,由于IC基板厚度的增加,F(xiàn)C CSP失去了吸引力。據(jù)了解,M系列甚至可以超過(guò)薄FC CSP的BLR性能;最后,物有所值。盡管Deca的M系列ASP高于eWLB,是扇入WLP的兩倍,但由于可靠性和質(zhì)量的提高,良率的提高遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)了M系列ASP的高利潤(rùn)率。Deca的M系列對(duì)客戶(hù)的吸引力是由于它的技術(shù)價(jià)值,而不是降低成本。
此外,將M系列工藝流程和最終結(jié)構(gòu)與臺(tái)積電的inFO進(jìn)行比較,因?yàn)閮烧叨际切酒瑑?yōu)先面朝上流程,盡管這兩種技術(shù)服務(wù)于不同的市場(chǎng)細(xì)分和設(shè)備領(lǐng)域。值得注意的是,臺(tái)積電的inFO并沒(méi)有額外的類(lèi)似Deca的M系列的EMC層,臺(tái)積電在die和焊料之間只有PBO薄膜。另外,臺(tái)積電inFO的Cu Stud比Deca的M系列短,增加了一層Cu RDL。據(jù)信,臺(tái)積電正試圖通過(guò)更大的Cu RDL來(lái)補(bǔ)償光刻的有限分辨率,這不同于Deca的專(zhuān)有自適應(yīng)模式,該工藝是為了克服模移問(wèn)題而開(kāi)發(fā)的,其中RDL VIA與Cu Stud的值為+/-0.2um。
最主要的好處在于,扇出封裝擴(kuò)展了I/O面積,提高了die集成的限制和靈活性,所有這些都是在較薄的厚度范圍內(nèi)完成的。顯然,現(xiàn)有的扇出封裝解決方案,如eWLB和inFO將繼續(xù)專(zhuān)注于I/O的“扇出”,另一方面,Deca的M系列為扇入die提供了可靠的側(cè)壁保護(hù)解決方案,這是一個(gè)新的好處。這種方法與傳統(tǒng)的扇出封裝市場(chǎng)有著顯著的區(qū)別,并有助于解決許多可制造性、成本、量產(chǎn)和可靠性問(wèn)題??傊?,Deca的M系列在低密度扇出封裝或核心扇出市場(chǎng)上取得了令人印象深刻的突破。
來(lái)源:Favier Shoo,Yole Développement半導(dǎo)體和軟件部門(mén)技術(shù)和市場(chǎng)分析師;
Santosh Kumar,Yole韓國(guó)首席分析師和封裝、裝配和基材研究總監(jiān)
編譯:南山
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發(fā)表于 06-12 00:53
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