在次世代顯示技術(shù)Micro LED的發(fā)展過程中，跨界整合始終是關(guān)鍵。遍布在全球的、芯片商、面板廠、制程技術(shù)提供者、系統(tǒng)供應(yīng)商等，無不多方建立合作關(guān)系，發(fā)揮彼此的技術(shù)強(qiáng)項，加速推進(jìn)Micro LED技術(shù)進(jìn)程。而從上游芯片制造起始，將各階段制程及技術(shù)串連起來的，則非設(shè)備廠莫屬。

如果說芯片、面板商是將Micro LED技術(shù)推上商業(yè)化舞臺的演員，設(shè)備廠就是后場默默整合資源，支撐光鮮前臺的幕后工作人員，名聲不一定特別響亮，功能卻是至關(guān)重要。在今年LEDinside的年度盛事Micro LEDforum上，也有數(shù)家設(shè)備廠商受邀分享他們的關(guān)鍵技術(shù)，提供轉(zhuǎn)移、接合、檢測及修復(fù)等不同解決方案。

Micro LEDforum 2019 現(xiàn)場盛況

LEDinside有幸采訪到專精于半導(dǎo)體后工序設(shè)備的ASM太平洋(ASM Pacific Technology)，由銷售總監(jiān)顧志豪先生進(jìn)一步說明，其相關(guān)制程設(shè)備如何支援轉(zhuǎn)移及固晶技術(shù)，加速Micro LED商業(yè)化發(fā)展。

ASM 太平洋銷售總監(jiān)顧志豪先生詳細(xì)介紹針對Mini/Micro LED 的技術(shù)及解決方案

ASM太平洋強(qiáng)調(diào)速度與良率，提供Micro LED及Mini LED顯示技術(shù)所需方案

“Micro LED生產(chǎn)技術(shù)最大的挑戰(zhàn)，還是在于芯片數(shù)量?！闭劦組icro LED的技術(shù)進(jìn)程，顧志豪點出關(guān)鍵。他指出，過去傳統(tǒng)LED用在顯示屏幕上可能只需要50-500單位量的芯片，但現(xiàn)在的Micro LED顯示屏則需要兩千四百萬的芯片量。因此，提升速度的轉(zhuǎn)移技術(shù)絕對是不可或缺的。

為達(dá)成后續(xù)制程良率的需求，確保芯片轉(zhuǎn)移時的精準(zhǔn)度也相當(dāng)重要。作為設(shè)備廠商，ASM太平洋能夠因應(yīng)客戶的需求，提供同時滿足速度跟精準(zhǔn)度的轉(zhuǎn)移設(shè)備，協(xié)助他們優(yōu)化制程效率并降低生產(chǎn)成本，加速量產(chǎn)時程。

而ASM太平洋所具備的齊全產(chǎn)品線，能一一擊破Micro LED、Mini LED背光以及Mini LED RGB模組等不同技術(shù)的制程難題。

針對已開始進(jìn)入市場的Mini LED背光技術(shù)，顧志豪表示這是最容易切入的技術(shù)，傳統(tǒng)拾放的固晶技術(shù)也能達(dá)成，但ASM太平洋的強(qiáng)項在于能提供高速方案，其AD 420自動化系統(tǒng)便已被使用于目前Mini LED背光產(chǎn)品的制程中。

Mini LED RGB顯示模組的制程上，除了保持速度，還需提升芯片排列的平整度，以維持顯示色彩的一致性。在回焊過程中，芯片的位置、角度、平整度都難以控制，這是傳統(tǒng)工藝不易解決的難點。ASM太平洋深明Mini LED RGB以及Micro LED顯示模組產(chǎn)品的要求，開發(fā)出巨量焊接工藝AD300Pro，其獨家技術(shù)讓LED芯片不用經(jīng)過回焊(reflow)，可確保芯片的XY位置及水平角度一致，使得全彩RGB顯示螢?zāi)坏钠秸雀渍瓶亍?/p>

至于Micro LED技術(shù)方案，ASM太平洋目前已達(dá)成一次轉(zhuǎn)移10000片Micro LED芯片，接合的效率更高達(dá)每次80000片。此外，ASM太平洋的專利焊頭，能夠在高溫下焊接表現(xiàn)依然保持高一致性，在攝氏350度的溫度下達(dá)到2μm以內(nèi)的精準(zhǔn)度，室溫作業(yè)下更可達(dá)到1μm以內(nèi)，機(jī)臺的專利氣艙內(nèi)進(jìn)行接合，提供氮氣加強(qiáng)芯片保護(hù)。

ASM 太平洋Mini/ Micro LED 完整解決方案

與全球大廠低調(diào)合作，從磊晶到面板全自動化設(shè)備加速Micro LED量產(chǎn)

ASM太平洋除了針對Mini LED背光、Mini LED RGB以及Micro LED都有相應(yīng)的機(jī)臺外，更能夠提供全自動產(chǎn)線方案，從送入磊晶片等材料，到后端面板制程的機(jī)臺間可以自動轉(zhuǎn)換，不須透過人手操控。應(yīng)用產(chǎn)品也從初期的測試樣品，逐漸進(jìn)入量化商品階段。

用于Micro LED的機(jī)臺聚焦于巨量轉(zhuǎn)移跟接合兩種技術(shù)方案，分階段將磊晶片依據(jù)客戶給的范圍抓取，放到暫存基板上，再轉(zhuǎn)移到目標(biāo)模板上進(jìn)行接合。目前巨量接合的良率更已達(dá)成99.99-100%。

“今年在各大顯示屏的展會上，不少客戶已經(jīng)展出用以我們的設(shè)備做出的Micro LED產(chǎn)品！”顧志豪說，雖然已經(jīng)跟不少公司合作超過一年半，成品效果也很好，但由于合作客戶多為國際大廠，保密條款非常嚴(yán)格，于是ASM太平洋多是低調(diào)提供其獨家技術(shù)。

顧志豪透露，現(xiàn)階段合作的廠商包括日本、韓國、中國大陸及***地區(qū)等多家面板大廠，產(chǎn)品應(yīng)用范圍也涵蓋大尺寸顯示器、手機(jī)屏幕、車用顯示、透明顯示屏等等。目前AD300Pro的裝機(jī)率仍持續(xù)成長，許多客戶都已經(jīng)準(zhǔn)備將此機(jī)臺用于產(chǎn)品量產(chǎn)，并采用ASM太平洋提供的全自動化方案。

作為設(shè)備供應(yīng)商，ASM太平洋看好Micro LED應(yīng)用于車用透明顯示器的市場，預(yù)估2020年底有機(jī)會見到搭載Micro LED透明顯示屏幕的汽車出現(xiàn)在市場上。而Micro LED在穿戴裝置上的應(yīng)用，如AR/VR或手表等終端產(chǎn)品則估計在2021年過后進(jìn)入市場。