動態(tài)

• 發(fā)布了文章 2022-07-14 09:21

  陸芯劃片機：晶圓加工第五篇—如何在晶圓表面形成薄膜？

  

  薄膜沉積為了創(chuàng)建芯片內(nèi)部的微型器件，我們需要不斷地沉積一層層的薄膜并通過刻蝕去除掉其中多余的部分，另外還要添加一些材料將不同的器件分離開來。每個晶體管或存儲單元就是通過上述過程一步步構(gòu)建起來的。我們這里所說的“薄膜”是指厚度小于1微米（μm，百萬分之一米）、無法通過普通機械加工方法制造出來的“膜”。將包含所需分子或原子單元的薄膜放到晶圓上的過程就是“沉積”。

  劃片機

  1.6k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-07-12 14:56

  劃片機：晶圓加工第四篇—刻蝕的兩種方法

  

  刻蝕在晶圓上完成電路圖的光刻后，就要用刻蝕工藝來去除任何多余的氧化膜且只留下半導體電路圖。要做到這一點需要利用液體、氣體或等離子體來去除選定的多余部分?？涛g的方法主要分為兩種，取決于所使用的物質(zhì)：使用特定的化學溶液進行化學反應(yīng)來去除氧化膜的濕法刻蝕，以及使用氣體或等離子體的干法刻蝕。1、濕法刻蝕使用化學溶液去除氧化膜的濕法刻蝕具有成本低、刻蝕速度快和生產(chǎn)率高

  劃片機

  3.5k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-07-11 10:35

  劃片機：晶圓加工第三篇—光刻技術(shù)分為三個步驟

  

  光刻光刻是通過光線將電路圖案“印刷”到晶圓上，我們可以將其理解為在晶圓表面繪制半導體制造所需的平面圖。電路圖案的精細度越高，成品芯片的集成度就越高，必須通過先進的光刻技術(shù)才能實現(xiàn)。具體來說，光刻可分為涂覆光刻膠、曝光和顯影三個步驟。1、涂覆光刻膠在晶圓上繪制電路的第一步是在氧化層上涂覆光刻膠。光刻膠通過改變化學性質(zhì)的方式讓晶圓成為“相紙”。晶圓表面的光刻膠層

  劃片機

  2.8k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-07-09 13:45

  劃片機：晶圓加工第二篇—關(guān)于晶圓氧化過程，這些變量會影響它的厚度

  

  氧化氧化過程的作用是在晶圓表面形成保護膜。它可以保護晶圓不受化學雜質(zhì)影響、避免漏電流進入電路、預(yù)防離子植入過程中的擴散以及防止晶圓在刻蝕時滑脫。氧化過程的第一步是去除雜質(zhì)和污染物，需要通過四步去除有機物、金屬等雜質(zhì)及蒸發(fā)殘留的水分。清潔完成后就可以將晶圓置于800至1200攝氏度的高溫環(huán)境下，通過氧氣或蒸氣在晶圓表面的流動形成二氧化硅（即“氧化物”）層。氧氣

  劃片機

  2.5k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-07-08 10:58

  劃片機：晶圓加工第一篇—所有半導體工藝都始于一粒沙子！

  

  一、晶圓加工所有半導體工藝都始于一粒沙子！因為沙子所含的硅是生產(chǎn)晶圓所需要的原材料。晶圓是將硅(Si)或砷化鎵(GaAs)制成的單晶柱體切割形成的圓薄片。要提取高純度的硅材料需要用到硅砂，一種二氧化硅含量高達95%的特殊材料，也是制作晶圓的主要原材料。晶圓加工就是制作獲取上述晶圓的過程。1、鑄錠首先需將沙子加熱，分離其中的一氧化碳和硅，并不斷重復該過程直至獲

  劃片機

  1.7w瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-07-05 11:01

  「陸芯半導體」精密劃片機在鉭酸鋰晶圓切割案例

  

  鉭酸鋰是重要的多功能晶體材料，具有壓電、介電、熱電、電光效應(yīng)、非線性光學效應(yīng)和聲光效應(yīng)等重要特性。鉭酸鋰晶圓的主要原料是高純度氧化鉭和碳酸鋰，它們是制作微波聲學器件的良好材料。鉭酸鋰晶圓，鉭酸鋰的直徑為100±0.2mm，厚度為0.2～0.25mm。應(yīng)用：拋光LT芯片因其良好的機電耦合，廣泛用于制造諧振器、濾波器、傳感器等電子通信器件，尤其是高頻表面波器件，

  劃片機

  1.7w瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-06-28 14:10

  6英寸劃片機 陸芯3252半自動單軸晶圓切割機

  

  公司創(chuàng)辦至今，一直將自主創(chuàng)新放在重要位置，并高度重視研發(fā)工作。2018年，國內(nèi)外主流6英寸劃片機一直采用同步帶、渦輪蝸桿等機械輔助傳動轉(zhuǎn)臺方案。經(jīng)過數(shù)月的調(diào)查和不斷的試驗，通過大量的數(shù)據(jù)積累和不斷的設(shè)計改進，陸芯團隊成功地攻克了直驅(qū)電機轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)方案，使轉(zhuǎn)角定位精度及穩(wěn)定性大幅度提高，一舉達到國際先進水平。在以公司精密劃片機型號LX-6366為代表（兼容6?1

  劃片機

  1.6w瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-06-21 08:57

  陸芯半導體-精密劃片機切割工藝案例應(yīng)用

  

  陸芯精密劃片機設(shè)備有多種類型：LX32526英寸精密劃片機、LX335212英寸精密劃片機、LX33568-12英寸兼容精密劃片機、LX6366全自動雙軸劃片機、LX6636全自動單軸劃片機。晶圓劃片機切割應(yīng)用行業(yè)主要用于半導體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰

  劃片機 陸芯半導體

  1.5k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-06-16 10:34

  陸芯LX3352系列精密劃片機滿足各種劃切需求

  

  陸芯LX3352系列精密劃片機滿足各種劃切需求可用于加工最大邊長為300mm的方形工作物（特殊選配）。該設(shè)備標準配置了輸出功率為1.8kW的主軸，還將高扭矩主軸（2.2kW）作為特殊選配供用戶選擇，使用2.2kW主軸，可裝配58mm或定制切割刀片，旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達驅(qū)動，采用進口超高精密滾柱型導軌和研磨級絲桿，雙鏡頭自動影像識別系統(tǒng)，能夠?qū)杌螂y加工材料進行

  劃片機

  1.6w瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2022-06-13 09:25

  陸芯半導體切割機：精密劃片機維護及保養(yǎng)

  

  精密劃片機是一種高精密設(shè)備，精度的穩(wěn)定性、使用的安全性及可靠性都與工作的環(huán)境、維護保養(yǎng)息息相關(guān)。

  劃片機 陸芯半導體

  2.2k瀏覽量