四、 應用舉例

（1）適合于高速寬掃描視野觀察生物類樣品

低落點能量高通量掃描電子束顯微鏡適合觀測非導電樣品包括生物類。 工業(yè)電鏡考慮到保證了低能條件下的分辨率，獨特的探測器系統(tǒng)高效地收集BSE和SE信號電子。 所以，實現數倍于TV級別的快速掃描電子束成像成為可能。

（2）適合于大面積區(qū)域的微觀成像檢測

面向微觀尺度（突觸層次、納米尺度）上進行大腦結構重建，高通量掃描電鏡適合創(chuàng)立大規(guī)模場發(fā)射電鏡集群成像環(huán)境和高通量納米尺度神經結構重建技術平臺。 電鏡可24X7連續(xù)無人運作，一天自動采集產生數據量高達2 - 8TB，并可生成類似谷歌地圖式全景樣品圖， 用于大尺度三維腦神經圖譜繪制。

（3）適合于平面材料工藝制程質量監(jiān)控

高通量電鏡可用于表面鍍膜檢測等大面積微觀成像和薄膜生長均勻性檢測分析， 以及OLED平板顯示器基板、CVD制備碳納米管期間大型平面材料工藝檢測。傳統(tǒng)的顯微鏡只能看到樣本局部的一些點，而高通量掃描電鏡以點帶面，可以實現視頻級無縫大尺寸拼接，并可實現大地圖所有信息的大數據存儲和大數據分析，有助于企業(yè)改進制程工藝。

（4）適合材料基因組納米材料的表征分析

材料歷史發(fā)展三部曲體現了前沿科學革新。過去材料多半是在實驗室里偶然被發(fā)現，近年熱門的材料基因組全面縮短開發(fā)周期， 到如今人工智能基于理論物理預言新型材料。這些都離不開大數據，都要通過科學儀器實驗驗證。

高通量實驗可為材料模擬計算提供海量的基礎數據，使材料數據庫得到充實，計算模型得到優(yōu)化，直接加速材料的篩選和創(chuàng)新。

結語

高通量掃描電鏡隨著自動化程度提高而受到科研和產業(yè)界的重視。 量身定制的電鏡更是具有廣闊前景。

電子顯微鏡妙在一個“微”字，微小之處見功夫。甚至微米納米級的槍尖直徑孔徑等部件尺寸工藝都關系到整體性能，需要驗算論證反復試驗。每一點革新都是設計者潛心鉆研標新立異的結果。憑著持之以恒這股韌勁，國產工業(yè)掃描電鏡有望成為從中國制造到中國創(chuàng)造的范例。