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用偽譜算法對(duì)電容壓力微傳感器極板膜在均勻載荷條件下的彎曲行為作了數(shù)值模擬, 敘述了偽譜算法原理, 并將其用于微傳感器的載荷與電容關(guān)系分析. 對(duì)于非接觸式電容壓力微傳感器, 只有在小載荷(引起的最大垂向位移甚小于極板膜厚度)的條件下, 才可以忽略作用于極板膜的中平面的張力, 此時(shí), 微傳感器的電容與載荷之間呈線性關(guān)系. 當(dāng)進(jìn)一步增加載荷時(shí), 兩者的關(guān)系呈非線性, 電容隨載荷的增大迅速增加. 對(duì)于接觸式電容壓力微傳感器, 給出了接觸半徑的計(jì)算公式, 數(shù)值計(jì)算了載荷與電容關(guān)系曲線, 為壓力微傳感器分析和設(shè)計(jì)提供了理論依據(jù).
關(guān)鍵詞 偽譜算法 電容壓力微傳感器 載荷與電容關(guān)系
關(guān)鍵詞 偽譜算法 電容壓力微傳感器 載荷與電容關(guān)系
壓力傳感器
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