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摘要：對(duì)近年來(lái)硅微機(jī)械加工技術(shù)(MEMs)工藝研制的幾種微傳聲器進(jìn)行了論述，對(duì)其優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行分析和研究表明：這些傳統(tǒng)的傳聲器主要起聲電轉(zhuǎn)換的作用，對(duì)噪聲信號(hào)的濾波處理是由專用濾波電路完成。或者用數(shù)字濾波進(jìn)行處理。為此提出了一種硅微陣列濾波器傳聲器，在轉(zhuǎn)換信號(hào)的同時(shí)實(shí)現(xiàn)濾波。討論了阻尼和硅簧片根數(shù)對(duì)動(dòng)態(tài)特性的影響，并由此得出：阻尼的增加會(huì)降低傳聲器的靈敏度，簧片根數(shù)的增加可以改善靈敏度曲線。而且在獲取噪聲信號(hào)的同時(shí)能夠?qū)崿F(xiàn)濾波。
關(guān)鍵詞：微機(jī)械；傳聲器；濾波器
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