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近年來(lái)射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注,特別是MEMS開(kāi)關(guān)構(gòu)建的移相器與天線,是實(shí)現(xiàn)上萬(wàn)單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù),在軍事上有重要意義。
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