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微電子機械系統(tǒng) （Micro Electron-Mechxniaal System-MEMS）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的-i3新興技術(shù)。它涉及到微電子學(xué)、光學(xué)、聲學(xué)、磁管、氣動力學(xué)、流體力學(xué)與自動控制等多個學(xué)科。MEMS是涌過半導(dǎo)體微細加工技術(shù)及微機械加工技術(shù)在硅等半導(dǎo)體基板上制作的一種微型電子機械裝置。微機械可以分為幾個等級：特征尺寸在Imm一1。二 的為小型機械，Ipm一Imtn的為微型機構(gòu)，1。一1lxm的為納米機械。當(dāng)前，MEMS正向多功能化方向發(fā)展，即集微型機械、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理與控制電路、接口、電源和通信等單元于一體，成為一個完整的機械電子系統(tǒng)。
微電子機械系統(tǒng)
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