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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>傳感與控制>MEMS熱膜壁面剪應力傳感器標定

      MEMS熱膜壁面剪應力傳感器標定

      2018-02-04 | rar | 0.78 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      　　流體壁面剪應力的測量對于流動減阻、湍流結構機理研究等方面都具有重要的作用，但是這一物理量較難測得。近年來，MEMS （Micro-electromechanical System，微電子機械系統(tǒng)）技術的發(fā)展推動了傳感器尺寸的微小化，MEMS傳感器為壁面剪應力的測量提供了一種準確有效的手段。國內外許多研究機構已經開展了各類MEMS壁面剪應力傳感器的設計制造。為了關聯(lián)壁面剪應力和輸出信號，評估傳感器的工作性能指標，許多研發(fā)單位開展了傳感器的標定研究工作，但是至今為止尚未有統(tǒng)一的標定方法形成。關于MEMS壁面剪應力傳感器的研究進展，Lennart Lofdahl于1999年介紹了測量壁面剪應力的傳統(tǒng)方法和MEMS方法，其中重點介紹了熱膜型MEMS壁面剪應力傳感器的測量原理，標定公式以及時間和空間分辨率。Ali Etebari于2008年對最新的研究成果進行了概述。

      　　MEMS壁面剪應力傳感器的種類有很多，按測量方式的不同可分為直接測量型和間接測量型。浮動單元可作為直接測量方式的敏感元件，浮動單元式剪應力傳感器又可分為壓縮壓阻式、電容式和光學式的。此外，基于光學或聲學原理以及基于柔性微柱位移酌傳感器也屬于直接測量類型，熱膜型的或底層隔板型測量方法屬于間接測量類型。在實際中研究應用最多也最經典的是熱膜型的MEMS壁面剪應力傳感器。本文主要對熱膜型MEMS壁面剪應力傳感器的測量原理、特點及其行靜態(tài)標定和動態(tài)標定法作介紹。
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      傳感器 mems
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