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      MEMS靜電執(zhí)行光開(kāi)關(guān)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      介紹了一種基于靜電執(zhí)行的自對(duì)準(zhǔn)型垂直鏡面微機(jī)械光開(kāi)關(guān),該光開(kāi)關(guān)由垂直反射鏡面、懸臂梁、光纖定位槽等組成。微反射鏡和V型光纖定位槽的自對(duì)準(zhǔn)由同一塊掩膜板實(shí)現(xiàn)。微反射鏡和V字型光纖槽通過(guò)對(duì)(100)單晶硅的各向異性腐蝕實(shí)現(xiàn)。論文給出光開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了上述自對(duì)準(zhǔn)光開(kāi)關(guān)的加工工藝。
      開(kāi)關(guān) 靜電 mems
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